SEM-Base VI的优势--
硬式安装技术– SEM-Base VI与所有内部SEM振动控制系统兼容,并积极地减轻了从0.6 Hz开始的低频地板振动。
主动惯性振动消除– SEM-Base VI使用高灵敏度,低频惯性速度传感器,即使在安静的地板上也能实现高水平的振动衰减。
压电技术的串行设计–的串行设计和高压压电技术可实现从0.6 Hz到150 Hz的宽有源带宽,以及无yu伦比的惯性有源振动消除功能,从2 Hz开始可降低90%。
性能指标
主动自由度 | 6 |
有效带宽 | 0.6赫兹-100赫兹 |
被动固有频率 | 额定12 Hz |
有效有源谐振频率 | 0.5赫兹 |
1 Hz时的隔离 | 40%-70% |
2 Hz时的隔离 | 90% |
隔离度≥3Hz | 90-98% |
内部噪音 | 均方根<0.1 nm |
工作负荷范围 | 标准容量:900-2,500磅(408-1134千克) 高容量:2,500-3,200磅(1134-1452千克) |
距平台 4英寸(102毫米) 处发出的磁场 | <0.02μg宽带rms |
设计,尺寸以及环境和公用事业要求
环境与安全 | 符合CE和RoHS |
有源隔离元件 | 小3300磅(1500千克)容量的压电执行器从高压放大器接收信号,输出功率高达800 VDC。垂直执行器支持隔离的有效负载。 |
被动隔离元件 | 单硬质弹性体(无需压缩空气供应) |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器 ,用于测量隔离器下方的地面振动, 并提供与振动速度成比例的电压 |
主动反馈控制回路 | 在 支撑隔离表面的弹簧下方对地板振动进行测量,处理和衰减 |
尺寸(宽x深) | 35.25 x 44.25英寸 895 x 1124毫米 |
高度 | 标称6.3英寸(160毫米), 关闭SEM-Base时不会改变 |
工作温度 | 50°-90°F 10°-32°摄氏度 |
储存温度 | -40°-130°F -40°-55°C |
湿度 | <80%@ 68°华氏度| 20°C,露点18°C |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz交流; <600 w CE认证 |
地板位移 | <800微英寸 10 Hz以下(20μm) |
内置控制器规格
处理器 | 150/75 MHz双核 |
采样率 | 10 kHz的 |
模拟量输出 | 16个频道 |
模拟量输入 | 16个频道 |
状态灯 | 单颗LED |
前面板端口 | 1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个以太网RJ-45 2个BNC |
用户界面 | 用于Microsoft Windows 嵌入式以太网GUI的 终端 扩展GUI上的前面板LCD显示字符菜单 |
SEM-Base/STACIS 主动地面消振系统
为从扫描电子显微镜(SEM/FIB)到大型透射电子显微镜(TEM/Cryo-TEM/STEM)的所有商用带电束射工具提供实时主动消除地面振动的系统。
Mag-NetX 主动磁场消除系统
可在独立式笼,外壳安装或壁挂式结构因子中,Mag-NetX主动监测并实时消除交流和直流场的波动,确保它们不会干扰电子显微镜的磁透镜。
关于TMC
TMC为纳米技术设计和制造的建筑地面隔振系统。TMC隔离器支持超测量、仪器和制造。我们继续于行业的主动、惯性振动消除系统,具有压电驱动器和数字控制器。我们的无源产品范围从简单的、桌面隔离显微镜底座,到几乎任何尺寸的光学表系统。
TMC产品让光子学、半导体制造、生命科学、发现和纳米技术等领域的超研究、测量和制造成为可能。我们的产品是在的、垂直一体化的制造设施中设计和制造的,并以提供服务的客户承诺为后盾。
TMC是阿美特克超测量部门成员,阿美特克是电子仪器和机电设备的,年销售额约为50亿美金。为材料分析、超测量、过程分析、测试测量与通讯、电力系统与仪器、仪表与控制、运动控制、电子元器件与封装、特种金属产品等领域提供技术解决方案。共有18,000多名员工,150多家工厂,在美国及其它30多个设立了100多个销售及服务中心。
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