催化氧化是典型的气-固相催化反应，其实质是活性氧参与的深度氧化作用。在催化氧化进程中，催化剂的作用是下降活化能，一起催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提高了反应速率，加快了反应的进行。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发作无焰氧化，并氧化分解为CO2和H2O，一起放出大量热能，然后抵达去除废气中的有害物的方法。其反应进程为：在将废气进行催化氧化的进程中，废气经管道由风机送入热交换器，将废气加热到催化氧化所需求的起燃温度，再通过催化剂床层使之氧化，因为催化剂的存在，催化氧化的起燃温度约为250℃~300℃，大大低于直接氧化法的氧化温度650℃~800℃，因而能耗远比直接氧化法为低。
A+B→[AB]→C
A+B+2K→[AK]+[BK]→[CK]+K→C+2K
(1)处理功率高，无二次污染，净化功率可达98%以上，保证排气
(3)氧化温度低，工作本钱价，可合理利用收回余热，节省能源、具有显着的经济效益;
(5)设备安置结构紧凑，占地面积小，节省土地和设备费用。
三、催化燃烧设备性防范
因为催化燃烧设备在燃烧室中选用明火对废气进行预热，因而需考虑废气的相关措施：
（1）废气中 VOCs 含量需控制在 LEL的 25%以下，以防止火灾。
（2）回火控制：为防止回火，在规划管道尺度时应使废气的 流速一向大于回火速度，或在前期管道主路设置减压阀，使进气压力一向高于下流气体压力。
（3）其他措施：选用回火防止器、稀释空气等方法。
（4）设置轻缺点或重缺点报警及联锁控制系统，当有回火状况发作时，蜂鸣器将发出警报指示。
四、处理功率
催化燃烧处理设备的功率温度（350℃左右）下可抵达 95%以上，入口废气的浓度不同处理功率有所不同，浓度越高处理功率越高[3]。影响处理功率的要素包含：
（1）催化剂中毒（含有硫、磷、硅等的化合物）；
（2）温度过低，催化剂活性缺乏。
当处理废气中含有容易使催化剂中毒的物质时，可在催化剂室前设置前处理设备，即添加前处理催化剂。工程中常选用蜂窝状的陶瓷类前处理剂来去除硫等物质。相同，废气的组成不同，前处理剂的选择也不同。此外，当温度过低时，氧化催化剂对废气中 VOCs 的氧化功率会大幅削弱，因而需要在设备中设置热电偶及传感器，使即时温度能及时显现在 PLC 盘柜显现屏中，并设置低温轻故障警报，当温度过低时自动点燃燃烧加热器进行升温。
催化燃烧设备应用案例与效果分析:
催化燃烧设备选用催化剂对废气中的 VOCs 物质进行催化氧化，并构成的 CO2 与 H2O。因为其处理功率高及操作、保护方便，已在化工、制药、食物等领域广泛运用。
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