废气经由填充式洗涤塔和洗涤液进行吸收中和（利用填充物增加接触表面积），以袪除废气中有害微粒物质，废气经由填充式洗涤塔，采用气液逆向吸收方式处理（downward）以雾洒而下产生小水滴，废气则由塔底逆向流达到气液接触之目的，此处理方式可冷却废气温度、气体调理及颗粒袪除，为确保塔内气体之均匀分布及气液之接触，因此采用良好填充滤材应具有疏之表面，较大之自由表面积使气体、液体之间停留时间增长，同时填充滤材之选用应有适当的空隙以减少气体向上升之阻力，减少洗涤塔之压降力，再经过除雾处理（mist eliminator）后排入大气中。
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