四川重庆高校研究型小型真空等离子清洗机设备简介：
- 离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-40pa 的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），其显著的特点是高均刀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
四川重庆高校研究型小型真空等离子清洗机处理优点：
- 环保技术：等离子体作用过程是气- 固相干式反应 ,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。
- 广适性：不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理；
- 温度低：接近常温，特别适于高分子材料，比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。
- 功能强：仅涉及高分子材料浅表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的 同时，赋予其一种或多种新的功能；
5.低成本：装置简单，易操作维修，可连续运行，往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。
6. 全过程可控工艺：所有参数可由电脑设置和数据记录，进行工艺质量控制。
7. 处理物几何形状无限制：大或小，简单或复杂，部件或纺织品，均可处理。
SPV-5等离子清洗机技术参数 | |
功率 | 0-300W |
频率 | 40KHz |
腔体尺寸 | 直径 150mm×270mm 容量 5L（腔体可定制） |
外形尺寸 | 560×540×550mm |
供电电源 | AC220V |
真空度 | 1-30Pa（压力表量化值显示，可选装高真空硅管） |
气体路数 | 双路气体输入 |
气体流量 | 10—100ml/min(浮子流量计，可选装电子流量计 10-300ml/min) |
控制过程 | PLC 人机界面自动与手动方式 |
清洗时间 | 1-99999s 可调 |
功率大小 | 10%-100%可调 |
冷却方式 | 强制风冷 |
腔体温度 | ＜35℃ |
电极板 | 单层电极板 |
离子轰击方向 | 电极板垂直向下 |
真空泵 | 2XZ-4（抽速 4L/S） |
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