扩散真空泵
真空扩机组技术参数机组所配各泵技术参数
主泵前级泵
01设备名称高真空机组油扩散泵旋片真空泵
02 型号JKT200KT-2002X-15
03极限压力6.7×10-4 Pa6.7×10-4 Pa1 Pa
05功率4 Kw加热功率1.6-2Kw1.5Kw
06 机组抽速600 L/S2000 L/S(裸泵抽速)15 L/S
设备名称高真空机组油扩散泵旋片真空泵02型号JKT200KT-2002X-1503极限压力6.7×10-4 Pa6.7×10-4 Pa1 Pa05功率4 Kw加热功率1.6-2Kw1.5Kw06机组抽速600 L/S2000 L/S(裸泵抽速)15 L/S07启动真空10 Pa常压08
预热时间≤35min09
高真空机组配置
油扩散泵KT2001台
旋片真空泵2X-151台
冷阱SD-2001个
气动挡板阀GDQ-S2001个
高阀
气动挡板阀GDQ-J501个
预抽阀
气动挡板阀GDQ-J501个
前级阀
电磁压差阀DYC-Q501个
连接管路、波纹管1套
复合真空计ZDF-52271台
电控柜1台
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