德国SURAGUS EddyCus®TF实验室4040系列专用于上介质尺寸的衬底的非接触单点测量。灵活适用的台式设备允许根据其设置对薄层电阻、金属厚度、光学透明度或电(非)各向同性进行准确的手动测量。
德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪产品简介：
EddyCus®TF实验室4040系列专用于上介质尺寸的衬底的非接触单点测量。
灵活适用的台式设备允许根据其设置对薄层电阻、金属厚度、光学透明度或电(非)各向同性进行准确的手动测量。
常见的应用包括测量薄导电透明和非透明层、晶片或金属片。
德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪可选型号：
该设备可以配备不同的传感器，包括用于电气特性的涡流传感器或用于光学特性的传感器。设备平台的变体涉及以下选项。
. 薄层电阻 – EddyCus® TF lab 4040SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
. 金属厚度测试 – EddyCus® TF lab 4040MT [nm, µm, mm, mil]
. 混合系统：光学和电气传感的组合 – EddyCus® TF lab 4040HS(薄层电阻 + 光学透射率、反射率和漫透射率)
. 各向异性测试仪 – EddyCus® TF lab 4040A
. 湿涂层厚度和残留水分 – EddyCus® TF lab 4040HF
德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪产品特点：
. 非接触式、实时、稳健
. 准确且可重复的测量
. 高测量质量，不受以下因素影响：
均匀的接触质量
钝化/封装
粗糙度
. 对敏感层无伤害
. 准确测量
传统导电薄膜
网格和线结构
多层系统
隐藏和封装的导电层
. 不穿
. 用于系统质量保证的软件指导手动映射
. 多种测量数据保存和导出功能
. 节省空间的智能显示器集成(用于每个触摸屏的测量和数据评估)
. 使用客户程序的软件开发套件测试自动化;
德国SURAGUS EddyCus® TF4040系列薄层电阻测量仪技术规格：
技术：非接触式涡流(各种传感器类型)
单点测量
定位区域：760 mm x 660 (open) mm
推荐的样品尺寸：10 x 10 mm² 到 400 x 400 mm²(0.5 x 0.5 英寸到 16 x 16 英寸)
参数：
薄层电阻 0.1 mOhm/sq 至 100 kOhm/sq
金属层厚度 1 nm 至 2 mm(其他应要求提供)
光学透明度 0.01 – 100 %
电各向异性 0.33 - 3；
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