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日本Horiba S48 28气体质量流量控制器响应快速，可任意角度安装，可对零点漂移有效的控制。
日本Horiba S48 28气体质量流量控制器产品特点：
可以任意角度安装
良好的线性——多段线性补偿
快速的响应
电磁阀使用寿命大于等于100万次
对零点漂移有效的抑制
良好的选择性
日本Horiba S48 28气体质量流量控制器安装尺寸图：
我们会努力按照原厂技术参数翻译编辑，如技术参数中英文有差异，以英文参数为准。
日本Horiba S48 28气体质量流量控制器技术参数：
编号 | 项目 | S48 28/HMT | |
1 | 流量规格 | (100,150,200)L/min | |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 | |
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 | |
4 | 安装角度 | 任意 | |
5 | 流量控制范围 | 5%~100% | |
6 | 流量测量范围 | 0~100% | |
7 | 响应时间 | 2s(T98,设定值的±2% F.S.) | |
8 | 工作环境温度 | 5℃~50℃ | |
9 | 精度保证温度 | 15℃~35℃ | |
10 | 精度 | ±1.0%F.S. | |
11 | 线性精度 | ±0.5%F.S. | |
12 | 重复性 | ±0.2%F.S. | |
13 | 工作压差 | (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa | |
14 | 耐压 | 3MPa | |
15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s (He) | |
16 | 接触气体材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡胶 | |
17 | 管路接头 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ | |
18 | 供电电源 | ±15VDC(±5%) | +24VDC(宽电压+11~+25V), |
19 | 设定信号 | (0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ | 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) |
20 | 流量输出信号 | (0~5)VDC 负载能力≤3mA | |
21 | 电气接头 | D-SUB15,D-SUB9 | |
22 | 重量(kg) | 2.8 | |
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