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美国ALICAT MCS/MCRS 耐腐蚀质量流量控制器参数:
0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 3000 slpm 满量程
艾里卡特®MCS & MCRS 系列专用于某些腐蚀性气体
产品性能: MCS & MCRS 系列质量流量控制器
精度(调零后标准条件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)
高精度选配(调零后标准条件下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)
高精度(选配)仅适用于量程为: 5SCCM ~ 500SLPM 的设备
重复性: ±0.2% F.S
零点漂移&满量程漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm
工作范围 / 量程可调比: 1% ～ 100 F.S / 100:1
很大可控流量: 102.4% F.S
典型响应时间: 100 毫秒(可调整)
启动预热时间: < 1 秒
运行工况: MCS & MCRS 系列质量流量控制器
标准工况: (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换)
工作温度: −10 ~ +50 ºC
工作湿度范围 (非冷凝): 0 ~ 100
内部很大工作压力(静压): 145 psig
很限压力: 175 psig
对安装方式/方向的要求: MCS: 无 MCRS: 阀门须垂直安装
阀门状态: 阀门常闭
防护等级： IP40
材质 ：标准采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根据特殊气体选用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene；
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