德国Scanlab扫描振镜int*lliSCAN
施肯拉公司（SCANLAB ）于1990年成立德国慕尼黑，是目前世界的激光配件商，生产的高速扫描仪振镜，密封性好，防水防尘，体积小且紧凑坚实，搭配自己研发的的动力系统以及*稳定的性能，确保了振镜长时间精确运行。
1. 二维SCANLAB扫描系统
（四）int*lli SCAN系列
德国Scanlab扫描振镜int*lliSCAN标准系列型号有：int*lli SCAN10，14，20，30
III系列型号有：int*lli SCANIII10，14，20，30
添加数字编码器型号的有With digital encoder ：int*lli SCANde14，de20，de25，de30，se10，se14
int*lli SCAN系列的优点拥有先进的监控诊断iDrive电子概念，带来了改进的动力和高级查询的可能性。
同时它相对于其它系列的有配件可扩展性，可以选择拥有更强大的SERVO算法的数字编码器，精度高的同时还可以通过电脑微端进行远程控制，实时的捕获关键参数。 还有3节调控轴对速度和定位精度进行调控，满足客户的各种特定要求。
应用领域：1：微加工 2：标刻、焊接、钻孔
3：快速成型、快速加工 4：光伏加工 5：飞行打标
以下是int*lli SCAN型号参数，可以咨询代理商维尔克斯光电的工程师
型号参数 | int*lliSCAN ®/ int*lliSCANde ® |
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入光孔径 | 10 | 14 | 20 | 25 | 30 |
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“Fast Vector” 式调整 |
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速度 |
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标刻速度 | 3.0 m/s | 1.5 m/s | 1.0 m/s | 0.8 m/s | 0.7 m/s |
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定位速度 | 14.0 m/s | 12.0 m/s | 11.0 m/s | 10.0 m/s | 9.0 m/s |
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写入速度 |
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好品质写入速度 | 1150 cps | 500 cps | 340 cps | 260 cps | 220 cps |
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高品质写入速度 | 800 cps | 340 cps | 230 cps | 170 cps | 150 cps |
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动态特性 |
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跟踪误差 | 0.12 ms | 0.21 ms | 0.32 ms | 0.50 ms | 0.55 ms |
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“step”式调整 |
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阶跃时间 |
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1% of full scale | 0.37 ms | 0.7 ms | 0.75 ms | 1.0 ms | 1.2 ms |
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10% of full scale | 1.0 ms | 1.4 ms | 1.9 ms | 2.7 ms | 3.5 ms |
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100% of full scale | 3.0 ms | 3.7 ms | 5.3 ms | 8.0 ms | 11.0 ms |
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通用参数 |
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光学特性 |
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扫描角度 | ±0.35 rad (1) |
增益误差 | < 5 mrad |
零点误差 | < 5 mrad |
电气要求 | 30 V DC, max. 6 A (8) |
or 48 V DC, max. 6 A | |
接口定义 | XY2-100增强型、SL2-100 或者光学数据传输 |
运行温度 | 25 °C ± 10 °C |
风冷要求 | 干净、过滤气体 |
20 l/min at Δp < 2 bar | |
水冷要求 | 5 l/min at |
Δp < 0.1 bar, p < 4 bar |
型号参数 所有的角度都是指光学角度 | int*lliSCAN de® | int*lliSCAN ® |
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动态特性 |
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重复精度 | < 0.4 μrad | < 2 μrad |
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抖动 （位置噪音、大振幅） | < 1.6 μrad | < 5 μrad |
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温度漂移 |
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漂移 | < 15 μrad/K |
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增益 | < 8 ppm/K |
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长时间漂移（8小时） |
| < 0.6 mrad |
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漂移 | < 20 μrad | - |
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增益 | < 20 ppm | - |
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长时间漂移（24小时） |
| < 0.6 mrad |
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漂移 | < 12 μrad | - |
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增益 | < 25 ppm | - |
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光学特性 |
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线性度 | < 0.5 mrad / 44° | < 3.5 mrad / 44° |
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位置分辨率 | 0.82 μrad | 3.2 μrad |
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int*lliSCAN ®III New!
| int*lliSCAN ® III 10 | int*lliSCAN ® III 14 |
入光孔径 | 10mm | 14mm |
跟踪误差 | 0.11 ms | 0.13 ms |
阶跃时间 |
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1% of full scale | 0.40 ms | 0.40 ms |
10% of full scale | 1.1 ms | 2.2ms |
速度 |
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标刻速度 | 3.5 m/s | 2.5 m/s |
定位速度 | 12 m/s | 6.0 m/s |
写入速度 |
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好品质写入速度 | 1080 cps | 800 cps |
高品质写入速度 | 760 cps | 550 cps |
长时间漂移（8小时） | ||
漂移 | < 100 μrad | < 100 μrad |
增益 | < 100 ppm | < 100 ppm |
长时间漂移（24小时） | ||
漂移 | < 100 μrad | < 100 μrad |
增益 | < 100 ppm | < 100 ppm |
温度漂移 | ||
漂移 | < 15 μrad/K | < 15 μrad/K |
增益 | < 25 ppm/K | < 25 ppm/K |
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