Voegtlin质量流量控制器GSC-C9KA-DD12
集成解决方案与我们的模块化气阻系统
模块化气体收集系统，可轻松集成多个 MFC
PCU-10 PLUS气体混合系统
此外，可根据要求提供基于PCU-10 的定制气体混合系统
V?gtlin 的模块化气体收集系统可以将red-y smart 系列的多个数字流量计和流量控制器轻松集成到一个组合系统中。可提供带或不带止回阀的块。
Voegtlin质量流量控制器GSC-C9KA-DD12
版本
带 G?" 内螺纹的版本，铝，密封材料 FKM*
交货包括。安装螺钉、密封件和连接接头 G?"（在出口处）
止回阀规格：流量 60 ln/min / 压降 ?p 1.2 bar / 泄漏率（氦气）< 1 x 10-6 mbar l/s
这些系统可作为自组装套件或组装/泄漏测试提供。
可选：用于出口的 G1/8" 内螺纹，密封材料 EPDM
气体收集块，超过 4 个通道，备件可应要求提供
Voegtlin质量流量控制器GSC-C9KA-DD12
| 性能数据 | |
|---|---|
| 介质（真实气体校准） | 空气 O2 N2、He、Ar、CO2、H2、CH4、C3H8（应要求提供其他气体和气体混合物）*O2 和 N2 用空气校准 |
| 响应时间 | 仪表 (GSM)：± 80ms 控制器 (GSC)：± 500ms* *取决于设备配置和 SEMI 标准 E17-1011，优化条件下范围的 5-99% |
| 重复性 | ± 0.2% 满量程（根据 SEMI 标准 E56-0309） |
| 长期稳定性 | < 测量值的 1% / 年 |
| 电源供应 | 24 Vdc (18 – 30 Vdc)，15 Vdc 应要求提供 |
| 电流消耗标准 | 仪表 (GSM)： 100毫安；控制器 (GSC) 250 mA （GSC 阀类型 8 490mA） |
| 电流消耗 Profinet RT / EtherCAT | 仪表 (GSM)： 125 毫安；控制器 (GSC) 340 mA （GSC 阀类型 8 560mA） |
| 操作压力 | 0.2 – 11 bar a (3 – 160 psia) / GSC 阀门类型 4.5 和 8 max。8 bar (120 psia) |
| 温度（环境/气体） | 0 – 50°C (32 – 122°F) |
| 车身材料 | 阳极氧化铝，可选不锈钢电解抛光 |
| FKM、EPDM、可选FFKM | |
| 压力敏感度 | < 0.2% / bar 读数（典型 N2） |
| 温度敏感性 | 每 1°C 0.025% FS 测量范围类型 lt;0.012% 每 1°F） |
| 热身时间 | < 1 秒。*准确 |
| 集成与安装 | |
| 输出信号模拟 | 0-20 mA、4-20 mA、0-5 V、1-5 V、0-10 V、2-10 V |
| 输出信号数字 | RS-485；Modbus RTU（从站）；LabView-VI 可用选项：Profibus DP-V0、DP-V1 / Profinet RT / EtherCAT |
| 过程连接 | G?"（BSPP* 内螺纹）高达 60 ln/min (64 SLPM) G?"（BSPP* 内螺纹）高达 450 ln/min (480 SLPM) *英国标准平行管道 |
| 入口部分 | 不需要 |
| 电气连接 | Sub D 型插头，9 极 |
| 安装方向 | 任何位置（5 bar 以上或垂直安装请咨询制造商） |
| 安全 | |
| 测试压力 | 16 巴 (240 磅/平方英寸) |
| 泄漏率 | < 1 x 10-6 mbar l/s He |
| 入口防护等级 | IP50 |
| 电磁兼容 | EN 61326-1 |
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。