这款高精度直驱线性平移台是精密线性直驱平移台,采用光学编码器和3相无铁线性无刷伺服电机技术,为用户带来零反冲高精度平移运动,具有*的平移精度高,重复精度高和摩擦低的特点。
高精度直驱线性平移台采用线性非接触式光学编码器作为反馈系统,使得位置控制高达亚纳米级分辨率。
高精度直驱线性平移台采用自然老化铝合金确保了平移台高温稳定性和轻巧性,以及优良的长周期运动,导轨系统不会发生漂移。
高精度直驱线性平移台可以用于洁净空间环境或真空度10^-3Torr的真空环境,也可根据用户要求提供高真空直驱平移台。
高精度直驱线性平移台可以轻松地直接连接到光学平台上,可直接安装搭建成电动XY二维平移台,无需使用任何连接板,也可按要求提供垂直Z轴平移台。
高精度直驱线性平移台还可以安装到花岗岩龙门架或高精度平台上实现高精度平移定位。
图1：高精度直驱线性平移台实物图
高精度直驱线性平移台特点
超精密位移运动能力
直接驱动无反冲backlash系统
高分辨率非接触式光学编码器
高精度线性导向和运载系统
超长使用寿命
方便集成到各种平台或光学机械系统中
XY二维位移台的正交性高达<=5arcsec
非常适合光学延迟线应用
图2：采用高精度直驱线性平移台搭建的电动XY二维线性位移台系统
高精度直驱线性平移台规格
| 行程范围 | 300mm |
| 编码器类型 | 光学编码器 |
| 编码器型号 | LEn1 |
| 编码器分辨率 | 25nm~5um任意 |
| 编码器接口 | 差分RS422 |
| 放大系数 | 4-200任选 |
| 编码器光栅周期, | 20um |
| 参考标记 (Index) | Yes |
| 精度2) | |
| 标定前 | ±5μm |
| 标定后 | ±1μm |
| 单向重复精度 | N/A |
| 双项重复精度（peak-peak)2) | ±0.15μm |
| 双项重复精度(RMS) 2) | ±0.08μm |
| Pitch 3) | ±30 / ±6.20 μrad/arcsec |
| Yaw 3) | ±30 / ±6.20 μrad / arcsec |
| Roll | N/A |
| 速度 (负载4Kg) 4) | <2000mm/s |
| 加速度 ((负载4kg) 5) | <20000mm/s^2 |
| 安全限位开关 (Safety) | Optical (Optrons) |
| 安全限位开关极性 | Pushed is closed |
| 限位开关电压 | 5…24V |
| 负载导向信息 | |
| 类型 | 线性电机平移台 |
| 电机类型 | LM3 |
| 电机设计类型 | 无铁BLDC Motors |
| Bus Voltage | >300VDC |
| 负载 (中心放置) 6) | |
| 水平 | 30kg |
| 运动质量 7) | 1.2kg |
| 导向系统 | 循环直线轨道和载物滑块单元 |
| 材料和外壳信息 | |
| 外部材料 | 铝合金 |
| 外壳处理 | 黑色阳极氧化 |
| 环境压力 | 标准大气压 |
| 工作温度 | 20±2°C |
| 控制器 | |
| 推荐控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推荐驱动器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推荐电源 9) | Request Standa support |
| 推荐通讯接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| 线缆长度 | 2m |
| 差分输出 10) | On request |
| 配件 | |
| 底板 | 不需要 |
| XY二维平移台系统搭建 | 直接搭建,不需要安装适配板 |
| Z轴竖直平移台搭建 | 可以 |
| 外形尺寸 | |
| 移动台尺寸 (W x L) | 140 x 140mm |
| 外形尺寸 (W x L x H) | 185 x 513 x 55mm |
| 公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| XY二维平移台正交性 11) | 24/5 μrad/arcsec |
| 防护处理 13) | 基础防护 |
| RoHS | 满足 |
| 重量 | 6.75kg |
1) 默认为x4转PPR-脉冲数/每转，模拟SIN/COS编码器接口
2)精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-OL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-ALI-OL分辨率1μrad. 环境误差1μrad.
4) 速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.
5)加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.
6)负载能力由导向系统决定.
7) 运动质量是系统常数m0,通常是没有负载时的惯性。
8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.
9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.
10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.
11) 可组成正交性能更好的XY二维电动位移台系统.
12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。
13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。
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