这款二维线性XY平移台是采用光学编码器的电控高精度直驱平移台,提供零反冲高精度平移运动,非常适合用作二维载物台等重复性扫描定位平移应用。
二维线性XY平移台采用线性非接触式光学编码器作为反馈系统,使得位置控制高达亚纳米级分辨率。
二维线性XY平移台采用自然老化铝合金确保了平移台高温稳定性和轻巧性,以及优良的长周期运动,导轨系统不会发生漂移。
二维线性XY平移台可以用于洁净空间环境或真空度10^-3Torr的真空环境,也可根据用户要求提供高真空直驱平移台。
二维线性XY平移台可以轻松地直接连接到光学平台上,可直接安装搭建成电动XY二维平移台,无需使用任何连接板,也可按要求提供垂直Z轴平移台。
二维线性XY平移台还可以安装到花岗岩龙门架或高精度平台上实现高精度平移定位。
二维线性XY平移台特点
剖面超薄设计
分辨率高达1nm
直接驱动无返程系统
高分辨率非接触式光学编码器
高精度线性导向和运载系统
速度高达1200mm/s
超长使用寿命
方便集成到各种平台或光学机械系统中
二维线性XY平移台规格参数
| 型号 | 8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1 | 8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1 | 8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1 | 8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1 |
| 运动学部分参数 | ||||
| 行程范围 | 250 x 250mm | |||
| 编码器类型 | 光学编码器 | |||
| 编码器型号 | LEN1 | |||
| 编码器分辨率 | 25nm~5μm (任意数据由用户) | |||
| 编码器接口 | 差分接口RS422 | |||
| 内部放大器 | YES | |||
| 放大系数 1) | 4-200 (按要求提供) | |||
| 编码器光栅周期 | 20μm | |||
| 参考标记 | Yes | |||
| 精度 2) | ||||
| 校准前, | ±5μm | ±6μm | ||
| 校准后, μm | ±1.5μm | ±2μm | ||
| N/A | ||||
| 双向重复定位精度(peak-peak)2) | ±0.25μm | ±0.5μm | ||
| 双向重复定位精度(RMS) 2) | ±0.15μm | ±0.30μm | ||
| Pitch 3) | ±30 / ±6.20 μrad / arcsec | |||
| Yaw 3) | ±30 / ±6.20 μrad / arcsec | |||
| Roll | N/A | |||
| 速度(负载4kg) 4) | <1500mm/s | |||
| 加速度(负载4kg) 5) | <20000mm/s2 | |||
| 限位开关类型(Safety) | Hall Sensors | |||
| 限位开关极性(Safety) | Pushed is closed | |||
| 限位开关电压 | 5…24V | |||
| 负载和导向部分参数 | ||||
| 位移台类型 | Real Gantry (MIMO) | Planar-Gantry Hybrid | Planar | |
| 线性电机型号 | LM5 | |||
| 线性电机类型 | Ironless BLDC motor | |||
| Bus Voltage | >300VDC | |||
| 电机数量 | 4 | 3 | 2 | |
| 负载 (中心位置加载) 6) | ||||
| 水平负载 | 30kg | |||
| 竖直负载 | N/A | |||
| 运动质量 7), | ||||
| X (底部), kg | 39.1kg | 37.8kg | 34.4kg | 33.9kg |
| Y (上部), kg | 7.5kg | 7.1kg | 7.5kg | 7.1kg |
| 导向系统 | Recirculating linear rails and carriages units with caged balls
| |||
| Material & Environment Conditions | ||||
| Housing Material | Aluminum Alloy | |||
| Housing Coating (Finish) | Black Anodizing | |||
| Environment Pressure | Normal Atmosphere | |||
| Operating Temperature, °C | 20±2 | |||
| Control, Communication and Cabling | ||||
| Recommended Controllers 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series | |||
| Recommended Drivers 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series | |||
| Recommended Power Supply 9) | 2 phase / 3 phase source | |||
| Recommended Communication Interface 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP | |||
| Cable Length, m | 2 (other by request) | |||
| Differential Outputs 10) | On request | |||
| Accessories Information | ||||
| Base Plate for Mechanical Interface | Granite is recomended | |||
| Z Configuration | Not available (choose from other Standa stages series)
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| Additional Details | ||||
| Dimensions of Moving Platform (W x L), mm | 430 x 430 | |||
| Overall Linear Stage Dimensions (W x L x H), mm | 746 x 746 x 106 | |||
| Measurement System | Metric/Imperial | |||
| Orthogonality11), μrad / arcsec | 24 / 5 | |||
| Protection Level | Request support | |||
| RoHS | Compliant | |||
| Weight, kg | ~68 | |||
1) 默认为x4转PPR-脉冲数/每转，模拟SIN/COS编码器接口
2)精度和双向重复定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer测量计算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-OL 电子自相关仪器测试,电子自相关仪11D-AL-COL分辨率1μrad. 环境误差1μrad.
4) 速度由编码器限制和驱动器CUT-OF频率以及导向系统限制.
5)加速度由驱动器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)决定.
6)负载能力由导向系统决定.
7) 运动质量是系统常数m0,通常是没有负载时的惯性。
8) 推荐的控制器和驱动器有助于发挥电动平移台的性能.
9) 推荐的电源是根据用户的占空比和负载来选择.
10) 差分输出接口,可提供主动或被动LCMv2接口.
11) 可组成正交性能更好的XY二维电动位移台系统.
12) 标量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通讯接口,矢量控制建议采用EtherCAT接口。
13) 平移台包括特殊封盖,可用于灰尘严重或湿度较大的环境。
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