这款手动型晶圆探针台广泛用作分析探针台和RF探针台,可测试200mm晶圆,性价比高,配置灵活多样,具有加热型晶圆夹盘chuck,体式显微镜,RF屏蔽箱等诸多配件可选择,适合实验室半导体器件测试和晶圆探针台测试应用。

　　手动型晶圆探针台特色

　　手动操作样品台，行程范围225mm x 225mm

　　加载或卸载晶圆非常方便

　　传统的粗调和微调台板设计,范围12.5mm

　　光滑的磁铁台板可支撑高达10个磁性或真空

　　高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, LED照明,放大倍数3.5X~180X

　　带有相机接口

　　两侧带有连接接口,适合连接微,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF链接接头

　　标准的XYZ三维位移台显微镜

　　可提供RF探针,RF卡盘,RF隔离箱等附件

　　手动型晶圆探针台规格参数

　　适合晶圆大小：200mm

　　手动XY位移台： 行程范围225mm x 225mm， 分辨率5um

　　台板行程：12.7mm 或更大，

　　台板调整：带有粗调和微调功能,重复精度+/-1.5um

　　台板平面度 lt;+/-12.7um @150mm长度

　　台板刚度： <5um @4.5kg

　　样品夹盘规格

　　真空：多区真空

　　平面度：+/-13um

　　击穿电压：500V

　　隔离度：1G欧姆

　　调整：360度粗调， +/-6度微调

　　显微镜：高质量体式放大显微镜,工作距离高达200mm, 放大倍数范围3.5X~180X

　　电学接头：BNC, Triax, RF, Banana插头

　　安装要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(仅适用于启动XY升级位移台）

　　整体尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

　　净重：85kg ~95kg (根据所选不同配件）