3D激光直写打印机具有3D激光打印机和3D激光直写光刻机功能,可制作分辨率优于10微米的高分辨率3D微纳结构图案。
3D激光直写打印机可以在光刻胶上直写3D图案结构,可容纳100x100mm的平面衬底,直写打印的图案厚度高达50mm,适合大规模激光3D打印。
3D激光直写打印机可使用市场上的多数光胶和3D光刻材料,可以装配375nm或405nm激光器。
3D激光直写打印机特色
高分辨率3D光刻,分辨率<10微米
大尺寸3D直写打印：100x100x50mm^3
可大深度聚焦
可选375nm或405nm紫外激光波长
光束最小可到5微米直径
直写步长可调
采用3D激光光刻软件控制
可以扫码直写或矢量直写
3D激光直写打印机规格参数
线性直写速度 gt;50mm/s
位移台分辨率：100nm
重复精度：100nm
加工晶圆面积：1~4英寸
允许衬底厚度：250微米~10毫米
激光斑点尺寸：5微米~50微米
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