Kleindiek纳米操纵仪是为外部电子显微学制备样品而设计的超精密样品拾取装卸系统,它在纳米尺度灵活微操纵样品。
Kleindiek纳米操纵仪安装
安装有一根微夹钳，一个四轴辅台，在表面有一个允许快速接近的小型CCD摄像头。Kleindiek纳米操纵仪是由安装在一个超小型平台上的一个四轴辅台构成。在辅台上安装了一个微夹钳，促进提取。操作该辅台将预切样品放置在微夹钳下。在这之后，微夹钳夹住样品并轻轻地固定住样品，固定要足够牢固，只要使辅台向旁边下落，就可以将样品从大量材料提取出。一旦分离，在TEM网格上，将样品与SEM兼容胶水接触，并且用离子束固化。
Kleindiek纳米操纵仪规格：
取样室兼容平台上的辅台
样品尺寸：30mm
行程：X和Y =10mm
行程：Z轴为3mm
行程：R =360°（无限）
速度：可达1mm/秒
分辨率 lt;0.5nm
笛卡尔运动
没有反弹或翻转
是大多数SEM和FIB工具的简单取样室装置
几乎不受震动影响
微夹钳
运输和组装微型物体的高分辨率夹持器
抓握区域：（5至10 μm）
分辨率：20nm
夹持力：5至5000μN（变量）
跨度范围：20?40 μm
SemCam
样品表层的小相机
允许快速接近
包括显示器和LED照明
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