在半导体制造中进行的薄膜沉积工艺中，需要以微米为单位进行成膜。
温度控制也是控制要沉积的扩散气体的蒸气压的重要项目。
我们的电子冷热恒温槽实现了百分之一的温度控制，在气相沉积工艺上有很多成就。
此外，它在需要精细温度控制的应用中也很有效，例如在物理、化学和制药领域。
主要特点
-罐内液体温度通过电子冷却方式控制在-10.00～70.00℃范围内。
・ 高分辨率温度显示 0.01 ℃ (1/100 ℃)
・ 通过的液体循环方式实现了高温稳定性 (± 0.02 ℃)。
・ 内部开发的高精度温度控制器。
-水箱和控制单元是分开的。
适合并入各种设备。
-通讯功能 RS-232C / RS-485（可选） 除了
温度设定和运行状态监控外，还可以远程操作运行/停止。
便于使用包含多个单元的 CVD 设备进行集中操作。
【主要规格】
| 控制方式 | 水冷式电子散热方式（Pelche 方式） |
|---|---|
| 设定温度范围 | -10.00-70.00℃ |
| 温度指示/设定分辨率 | 0.01℃ |
| 温度稳定性*1 | ±0.02℃ |
| 以上条件 | 环境温度 23 ℃ 环境湿度 55% RH 冷却水温度 25 ℃ 液体介质 GALDEN HT200 * 2 罐内无热负荷。 |
| 通讯功能（可选） | RS-232C/RS-485 运行监控、温度设置以及 运行/停止均可远程操作。 |
| 工作环境温度 | 5～35℃ |
| 冷却水温度 | 18～30℃（标准：25℃） |
| 冷却水流量 | 2.5-5.0L/min（根据设定温度可调） |
| 电源供应 | 单相 AC200V 4A 50 / 60Hz |
| 可用液体介质 | 氟系介质 防冻液等 蒸馏水 |
| 多种保护功能 | 自诊断功能 异常/报警输出（继电器输出） |
| 水族箱内尺寸 (mm) | Ø250×430H（液位400H） 有效容积：20.0L |
| 水箱外形尺寸（mm） | 321W x 321D x 580H（不包括突出部分） |
| 控制单元外形尺寸 (mm) | 260W x 362D x 147H（不包括突出部分） |
| 仟渔 |
同类优质产品
会员登录X请输入账号 请输入密码 请输验证码 提示X您的留言已提交成功！我们将在第一时间回复您~
淘生意平台 设计制作，未经允许翻录必究 .Copyright(C) https://www.tao31.com,All rights reserved. 以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，淘生意平台对此不承担任何保证责任。温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。 |
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。