Watlow 的燃气管路加热器旨在调节燃气管路中的温度，以防止燃气管路中出现冷凝。
原硅酸四乙酯 (TEOS)、三氯化硼 (BCl3)、氯化铝 (AlCl3)、 (ClF3) 和二氯硅烷 (DCS) 是由于低温相移而冷凝或液化的气体。在半导体工艺中，冷凝发生在气体管线中，并在注入真空室之前在喷头中形成水坑。如果将液化气体注入真空室，将会出现大量晶片缺陷。使用气体管线加热器均匀加热管线将防止冷凝。TEOS 管线通常加热到 194°F (90°C) 以上，BCl3 加热到 86°F (30°C) 以上，具体取决于压力和流速。生产线温度会因工艺参数而异。
| 仟渔 |
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