碳化硅，是一种无机物，化学式为SiC，是用石英砂、

石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）

等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，

莫桑石。在C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，

碳化硅为应用、经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂

碳化硅陶瓷具有优良的常温力学性能，如高强度、

高硬度、高弹性模量等，的高温稳定性，如高导热系数、

低热膨胀系数等，以及良好的比刚度和光学加工性能，

特别适合用于制备光刻机等 集成电路装备用陶瓷结构件，

如用于光刻机中的运动工件台、骨架、吸盘、水冷板以及精

密测量反射镜、光栅等陶瓷结构件等，方泰新材经过多年的技术攻关

，解决了大尺寸、薄壁、中空等复杂结构碳化硅结构件的加工制备难题，

突破了该类碳化硅结构件制备技术的技术瓶颈，

推进了集成电路制造装备用关键结构件的国产化。

１、碳化硅陶瓷主要包含无压烧结碳化硅(SSiC)、反应烧结碳化硅（RBSC）、化学气相沉积碳化硅（CVD-SiC）

２、碳化硅具有各种的性能：超硬 高热导率和机械强度、 低热膨胀系数、 的热稳定性、低密度、高比刚度、无磁性。

３、目前在航空、航天、核工业等各个行业均有碳化硅陶瓷的应用，如碳化硅陶瓷反射镜，IC集成电路制造等装备用陶瓷部件，条件下的热交换器、材料等。