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PSX307等离子清洁机

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:Panasonic 松下等离子清洗设备 PSX307等离子清洗设备
  • 品牌:
  • 产品类别:其他电子产品制造设备
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2023-05-17 22:22:54
  • 浏览次数:3
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  • 经营模式:其他
  • 商铺产品:398条
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  • 最近登录:2023-05-17
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产品简介

Panasonic松下等离子清洗设备PSX307等离子清洗设备 PSX307等离子清洗设备应用领域:在半导体晶圆工序的延伸以及引线键合、倒装芯片、塑封、底部填充

详情介绍

Panasonic 松下等离子清洗设备

PSX307等离子清洗设备


PSX307等离子清洗设备

应用领域:半导体晶圆工序的延伸以及引线键合、倒装芯片、塑封、底部填充。

设备特点:

1. 生产性、灵活性:扩大设备内室、传送轨道数可变、可连接多种搬运方式。


2. 产品追踪性:等离子放电监控、产品追踪功能。


在半导体领域的具体应用:


设备参数:

能够适用超薄镀金的理由
廉价的超薄镀金,在粘片机的热处理中,表面会形成镍化合物。
因为这种镍化合物会妨碍钢丝的焊接性,所以超薄镀金在以往被认为不适用与钢丝焊接。
PSX307采用氩等离子处理,通过除去镍化合物,实现了稳定的超薄镀金的钢丝焊接。

以氧离子改良表面
采用氧基改良表面性质,改善了模制树脂的密着性和下部填充物的浸湿性。(选购件)

搬送系统选购件

M type附带M类型的搬送系统和进料/出料选购件 S type附带S类型的搬送系统和进料/出料选购件

项目

PSX307

型号

NM-EFP1A

清洁方式

高频率平行板逆电极方式

放电用气体 ※1

氩气[选购件:氧气]

基板尺寸

L 50 mm × W 20 mm 〜L 250 mm × W 75 mm ※2(附带S类型的搬送系统和进料/出料选购件)
L 50 mm × W 20 mm 〜L 330 mm × W 120 mm (附带M类型的搬送系统和进料/出料选购件)

基板厚度

mm 〜 mm

设备尺寸/ 质量 ※3

W 930 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 555 kg

W 1 764 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 850 kg (附带S类型的搬送系统和进料/出料选购件)


W 1 750 mm × D 1 100 mm × H 1 450 mm / 725 kg(附带M类型的搬送系统和进料/出料选购件)


电源 ※4

单相AC 200 V 0 kVA (峰值时)

空压源

MPa、 L/min []



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