Picosun等离子体增强原子层沉积（PEALD）系统 PICOPLASMA

Picosun公司PICOPLASMA™等离子体增强原子层沉积（PEALD）系统是基于的自由离子远程等离子源设计的，其性能已经得到世界范围内的诸多研究团队的肯定。多种激发源（如氧、氢和氮等）配置能够zui大化拓展ALD的工艺范围，尤其是低温沉积金属和金属氮化物薄膜。由于远程等离子源所产生的等离子体束流中离子的含量低，因此即使是zui敏感的衬底，也不会出现等离子损伤，而等离子束流中含有高浓度的活性粒子，很快的生长速度。

PICOPLASMA™源系统既可以安装在现有的PICOSUNTM ALD反应器上，也可以将整个PEALD组装为yi个整体。它具有占地面积小、易维护和低运行等优点。通过预真空系统，PICOPLASMA™集成在PICOPLATFORM™集群系统中后可实现自动化操作。

PICOPLASMA™ 远程等离子体系统技术参数

· 对衬底无等离子损伤
· 导电材料不会产生短路现象
· 无前驱源背扩散→ 等离子发生器无薄膜形成
· 等离子体点火期间无压力振荡→ 无颗粒形成
· 等离子体源与衬底之间无闸门阀→ 无颗粒形成
· 等离子体源材料无刻蚀→ 金属和氧化物薄膜低杂质
· 简单和快速服务并通过维护舱口改变腔室
· 无硬件修改使热ALD和等离子ALD工艺在同yi沉积腔室中进行成为可能

应用领域