热压印系统
EV Group的一系列热压花系统基于该公司市场的晶圆键合技术。 压力和温度控制以及大面积的均匀性可实现的压印。 热压印是一种经济高效且灵活的制造技术,对于尺寸低至50 nm的特征,其复制精度非常高。 该系统非常适合将复杂的微结构和纳米结构以及高纵横比的特征压印到各种聚合物基材或旋涂聚合物中。 压模与基板对齐的组合可将热压纹与预处理的基板结构对齐。
EVG®510HE 热压花系统
高度灵活的热压花系统,用于研发和小批量生产。
EVG®520HE 热压花系统
经过通用生产验证的热压花系统可以满足要求。
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