MIRA3 XM是一款由计算机控制的场发射扫描电子显微镜，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

· 概述

分析潜力

· XM样品室配备有5轴马达驱动的全计算机化优中心样品台，的几何设计更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）

· 优化几何设计的许多接口，更适合安装能谱仪（EDS）、波谱仪（WDX）、电子背散射衍射（EBSD）和其他探头

· YAG闪烁器式探头

· 可选各种探头和配件

· 在涡轮分子泵和无油干式泵的工作下，几分钟就可以达到仪器工作需要的真空，电子枪的真空度由离子泵保持

· 在低真空模式下可以观测不导电的样品，观测磁性样品的效果非常好

· 可选样品室大小与镜筒防振方式

MIRA3配置

MIRA3 XMH
大样品室高真空式电镜，配备有可选的马达驱动样品台，适合观测导电的样品。

MIRA3 XMU
可变真空式SEM，体现了高真空模式和低真空模式的优点。在低真空模式下可以观测不导电的样品，不需要喷金。

软件：标配：

· 测量

· 图象处理

· 3维扫描

· 硬度测量

· 多图像校准

· 对象区域

· 自动关机时间

· 公差

· 编程软件

· 定位

· 投影面积

· EasySEMTM

·

选配：

根据实际配置和需求

配件

· 二次电子探头（SE），ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）

· 可移动式背散射电子探头（RBSE）*，可移动环行闪烁体类（YAG）具有高灵敏度和原子序数分辨率（）

· 低真空二次电子探头

· 探针电流测量

· 压差式防碰撞报警装置

· 可观察样品室内部的红外线摄像头

等，各种配件可供选择