SMC真空破坏阀泄漏的因素有很多，例如压力的大小。、密封面的材料、密封面的磨损、阀内件的应力和变形。当使用调节阀时，有时阀门关闭，阀芯与阀座之间的密封面泄漏尽可能小，有些工艺条件要求调节阀不泄漏。因此，为了实现低泄漏量，存在各种结构和材料，例如，软密封，即，诸如橡胶或聚四氟乙烯的柔软材料被用作密封表面。
日本SMC真空破坏阀从全开到中间开度，阀门的流阻较小，接近全闭时，流阻急剧增加。较大的范围内，流阻变化较小，在接近全闭时，流量变化较大，一定不要在阀门接近关闭时使用，这时很难进行流量的微调。阀门若开度极小，开口处的流速极快，会使闸板下侧产生气蚀，并伴有激烈的振动和噪声，长时间节流运转，往往会使阀体和闸板的金属发生气蚀。
日本SMC真空破坏阀工况若处在中间开度，阀板因为是靠两侧的导轨支撑，全闭时配合紧密，而中间位置时，阀板与导轨间隙大而产生振动。因此，即使在气蚀发生率较低的区域，长时间使阀门节流运转，导轨也会发生畸形、磨耗或损坏，且由于阀座不是全面接触，而接触部位表面压力很高，往往会产生咬蚀或粘连，因此，不宜用于流量控制。还要注意，闸阀在小开度时，流量变化大，如果对阀门紧急启闭，会造成压力急剧上升或产生负压，特别是关阀门时水锤的产生。
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1. 日本SMC真空破坏阀输出力不足。气动执行器作为带动调节阀阀芯动作的动力部分，其输出力要大于阀门关闭时需要的力，否则就会关闭不严，被介质压力把阀芯顶开，造成内漏现象发生。所以选型时必须要核实工艺管路的压差值，确保气动执行器有足够的输出力关闭阀门。
2. 日本SMC真空破坏阀薄膜执行器的弹簧刚度不够。气开式薄膜调节阀是依靠弹簧力量来关闭阀门，打开时需要的驱动力较小，关闭时需要的力量要大些，要客服调节阀前后的压差，当弹簧的力量不足以客服压差力时就会出现关闭不严的情况。需要更换刚度大的弹簧来解决，例如原来的弹簧范围是20-100KPa,就要更换为 40-200KPa。
3. 日本SMC真空破坏阀选型不对，不同种类的调节阀允许压差是不同的，套筒调节阀和双座调节阀比单座调节阀允许压差大，角行程的V型调节球阀和偏心旋转阀允许的压差会更大些，在压差比较大的工况下，合理选型就是非常重要的。
4. 日本SMC真空破坏阀内部有杂质，异物造成卡阻。需要拆开调节阀的阀盖，取出阀芯，进行清洗，密封面损伤的要重新研磨，装配好即可。调节阀入口配有过滤器，可以降低类似情况发生。
SMC真空破坏阀阀瓣启闭平稳，缓闭副阀结构紧凑，性能是可靠的，在维护方面很方面，可以SMC真空破坏阀进行检修或更换，无碍止回阀使用。
SMC真空破坏阀新设计、安装的控制系统，为了确保电动调节阀在开车时能正常工作，并使系统安全运行，新阀在安装之前，应首先检查阀上的铭牌标记是否与设计要求相符。同时还应对以下项目进行调试。
SMC真空破坏阀基本误差限；全行程偏差；回差；死区；泄漏量（在要求严格的场合时进行）。
如果是对原系统中调节阀进行了大修，除了对上述各项进行校验外，还应对旧阀的填料函和连接处等部位进行密封性检查。
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