VP-5ZA 是一种 chao 薄型 垂直位移台，非常适合于半导体晶片检测、光子测试和封装、微型组装、计量和表面检测系统。VP-5ZA 基于 VP-25X 线性位移台中使用的已经通过行业验证的技术，提供高可靠性运动，具有纳米灵敏度、高响应性和wan 美 直线轨迹。

• 垂直运动的精度为 4.8 mm，具有 du 特 的倾斜平面概念

• chao 薄型 设计，采用简化的 XYZ 配置

• 从任何方向均可以无障碍地进入移动平台

• 利用集成线性编码器可实现高度可重复且的运动

• ji 佳 的 60 nm zui 小 增量运动

• 即插即用（ESP 兼容性）

产品规格

特征

构建薄型 XYZ 平移台叠堆

chao 薄 XYZ 系统由两个VP-25XA 线性平移台和一个 VP-5ZA 垂直平移台组成。与传统平移台叠堆相比，该解决方案提供了一种 chao 薄 替代方案，可从任何方向轻松接近负载。

保持轴承上的 you 效 载荷

VP-5ZA 的提升可实现 you 效 载荷在轴承上定心，并靠近位置反馈。这样可以避免可引起角变形的任何悬臂负载，并产生具有更高载重能力的更 jing 确 的运动。

VP-5ZA平移台安装在ILS中程行程线性平台的顶部，可选的VP-BP底板。

gao 效 的倾斜平面设计

使用两个楔形的 du 特 布置可产生纯垂直运动，两个楔形通过倾斜的循环滚珠轴承和两对垂直安装的双列线性滚珠轴承滑块移动通过彼此。

的平移台兼容性

顶板上的螺纹孔图案提供了与VP-25X 线性平移台和其他 Newport 定位产品的兼容性。还提供用于晶片卡盘的标准 3 点安装接口。要将 VP-5ZA 安装到光学平台或ILS 线性平移台，请使用可选的VP-BP底座。可以使用平头螺丝刀方便地进行手动垂直调整。

高转矩直流电机

一种 gao 效、高转矩直流电机，具有预装长使用寿命的滚珠丝杠，可确保高速运动并缩短稳定时间。高分辨率线性刻度直接连接到移动轨道，xiao 除 了所有传动系统引起的运动误差。此外，节省空间的固定读取头设计避免了任何电缆移动。结果是一个坚固 nai 用 的平移台，MTBF 为 20000 小时。

注意：具体请咨询，网上标价不作为实际出售。

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