规格
| CV-2100M4 | CV-2100N4 | |||
测量范围 | X轴 | 100mm | |||
Z1轴（检出器） | 50mm | ||||
上下移动量（Z轴立柱） | 350mm | —— | |||
X轴倾角范围 | ±45° | ||||
分辨力 | X轴 | 0.1μm | |||
Z1轴 | 0.1μm | ||||
驱动方式 | X轴 | 电动（0-20mm/s） | |||
上下移动 （Z轴立柱） | 手动（快速上下动，微动） | —— | |||
测量速度 | 0.02-5mm/s | ||||
直线精度（X轴水平位置时） | 2.5μm/100mm | ||||
指示精度（20℃） | X轴 | ±（2.5+0.02L）μm，L：测量长度（mm） | |||
Z1轴 | ±（2.5+（0.1H））μmH=水平位置上的测量高度±25mm以内 | ||||
测量方向 | 向前/向后 | ||||
测量面方向 | 向下 | ||||
测力 | 30±10mN(3gf) | ||||
测针跟踪角度（以标准配件测针为例） | 向上77°，向下87°（根据表面粗糙度而定） | ||||
尺寸（幅度*深度*高度） | 745*450*885mm | 651*143*138.5mm | |||
重量 | 145.8kg | 5.8kg | |||
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