常见的实验室地板对于较为高大的工具进行地板振动隔离是很大的挑战。直接把隔振系统放在工具下面可能会使工具升到一个不切实际的高度。并且，常见的气浮隔离系统与高大的、上部分重的负载近距离使用时会不稳定。

TMC的65系列STACIS地板式平台解决了这个难题。通过把不锈钢平台和的“lifthood"设计组合到一起，我们的隔离器只会把放置工具的平台升到离地板很小的距离。并且，由于隔离器并没有和平台集成到一起，所以平台可以定制成符合工具的形状或者其他需要的形状。

TMC地板式平台配备STACIS主动压电陶瓷隔离器。STACIS的优势如下：

1、STACIS主动压电陶瓷隔离器对于高的，顶部较沉的负载没有不良影响。不存在重力不稳定的危险。

2、安装在平台上的仪器（TEMs，STEMs，STMs，SPMs等）都是振动敏感的工具。STACIS提供了的振动隔离并且没有低频放大。

3、需要隔振的仪器一般都有内置的振动隔离系统。这个系统通常是低频气浮隔离器，这个隔离器一般不可以被其他低频气浮隔离系统支撑。STACIS兼容任何内置隔振的装置。

4、TMC和仪器制造商都有密切的合作关系，这确保我们的平台设计满足仪器外形、结构和实用性要求。

我们已经成功地安装了上百个不同的仪器，熟悉很多设备的需求。大部分情况下，你只需要提供工具生产商和型号，我们就可以解决方案。

订购：
1、确定设备或仪器的型号和配置。
2、确认地板类型——实验室传统瓷砖地板、木地板等。
3、告诉我们仪器制造商是否已经对环境的振动情况进行安装前的调查。大多数情况下，使用标准地板式平台。

应用举例

设备生产商可以利用STACIS获得微米级的地板振动，用来模拟真实环境的地板活动，制定工具振动标准。

半导体设备制造商、电子显微镜制造商和其他工具制造商正努力为他们的仪器制定有意义的地板振动标准。这些标准可以源自于理论或经验。理论计算非常复杂，往往是不切实际的或者不能反映仪器实际的敏感度，因为许多变量无法轻易模拟。

STACIS 2100 在TMC自己的工厂内被用作隔振系统/振动器来测试其他TMC隔振产品的性能。

STACIS通常是作为地板隔振系统，它也可以提供微米量级的输入操作。振动器信号可以是白噪声、离散频率或正弦波形。STACIS可以提供独立的或组合的X、Y、Z轴振动输入，且没有其他的振动源可以将输入控制在如此小的振幅且同时提供一个可控制振动频谱。

工具可以安装在STACIS隔振系统上，当整体工具的性能被评估之后，STACIS振动源的振幅可以调整。

注意：具体请咨询，网上标价不作为实际成交。

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