EVG50(全自动独立工具)和在线计量模块(集成在EVG的大批量制造系统中)采用不同的测量方法,为大量应用提供高精度的高速测量。
该工具的应用范围涵盖多层厚度测量,用于确定中间层的总厚度变化(TTV)、焊接界面检查以及抗蚀剂厚度测量,并满足产量驱动的半导体行业的要求。
特征
具有行业吞吐量和分辨率的多层计量
多层厚度映射
粘合界面检查
低接触边缘处理
无粒子
正面和背面全区域无障碍
自我校准,提高系统重现性和生产效率
各种输出格式
99%生产检验
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EVG50(全自动独立工具)和在线计量模块(集成在EVG的大批量制造系统中)采用不同的测量方法,为大量应用提供高精度的高速测量
EVG50(全自动独立工具)和在线计量模块(集成在EVG的大批量制造系统中)采用不同的测量方法,为大量应用提供高精度的高速测量。
该工具的应用范围涵盖多层厚度测量,用于确定中间层的总厚度变化(TTV)、焊接界面检查以及抗蚀剂厚度测量,并满足产量驱动的半导体行业的要求。
特征
具有行业吞吐量和分辨率的多层计量
多层厚度映射
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