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深圳市科时达电子科技有限公司

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当前位置：深圳市科时达电子科技有限公司>>电子产品制造设备>>半导体设备>> TETRA240德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备 TETRA240
德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备 TETRA240
德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备 TETRA240
德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备 TETRA240

德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备 TETRA240

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号：TETRA240
  • 品牌：
  • 产品类别：半导体设备
  • 所在地：
  • 信息完整度：
  • 样本：
  • 更新时间：2022-06-02 12:50:35
  • 浏览次数：25
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深圳市科时达电子科技有限公司

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  • 经营模式：其他
  • 商铺产品：611条
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  • 注册时间：2022-06-01
  • 最近登录：2022-06-01
  • 联系人：林经理

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产品简介

德国DienerPECVD等离子体化学气相沉积设备该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等

详情介绍

德国Diener PECVD等离子体化学气相沉积设备



该PECVD系统可以沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等。




主要技术参数：

PC控制软件

RF发生器 0~3000W 脉冲模式

腔体防腐处理，400*400*1500mm,240L

腔体加热80℃

带观察窗

多路工艺气体通道，MFC控制 防腐处理

HMDSO单体通道

易燃易爆气体安全阀

Gas Shower气浴电极

设备外尺寸2000*600*1700mm

进口真空泵组

电压 3项400V

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