美国SONIX 晶圆检测设备 AutoWafe Pro
● 使用于200和300mm晶圆
● 符合一级净化间标准
● Cassette装载,全自动检测,支持FOUP或FOSB机械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM协议
● KLARF输出文件
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美国SONIX晶圆检测设备AutoWafePro●使用于200和300mm晶圆●符合一级净化间标准●Cassette装载
美国SONIX 晶圆检测设备 AutoWafe Pro
● 使用于200和300mm晶圆
● 符合一级净化间标准
● Cassette装载,全自动检测,支持FOUP或FOSB机械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM协议
● KLARF输出文件
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