光束整形器能够将入射的高斯光束整形为均匀的平顶光斑,也叫做平顶帽式光斑(Top-hat)。光斑的形状可以是圆形、正方形、矩形、线形、椭圆形等,能根据客户需求来 定制。光斑的尺寸从十几微米到几千微米,光斑均匀,边界陡峭。
光束整形器的形状为平面镜,直径一般为一英寸,利用表面台阶状的微结构将打入的激光整形为均匀光斑,使其能量分布均匀。在激光加工的过程中,经常需要将高斯光束整形为能量分布 均匀的平顶光斑,避免局部能量过高或者能量不足。光束整形器除了可以实现均匀光斑,还能将光斑的边界变得陡峭,这种尖锐的过渡区能够清晰的区分加工与未加工区域的边界。
激光光束质量(M2)的影响:
光束整形器对光束质量比较敏感,一般要求入射激光的M2小于1.5,越小越好,即光束整形器适用于单模激光。如果是用于M2较大的激光器,则 光斑的均匀效果和边界陡峭性都会变差。
常用的平顶光整形系统由一个激光器,一个平顶光整形元件和一个聚焦镜组成。光束整形器所整形出来的光斑是在聚焦镜的焦平面附近几微米处得到,由于这个距离很小,所以在搭建光学 系统的时候需要很精细的调节。此外,光束整形器要求激光是垂直中心入射的,所以在调节的时候采用六轴调整架能更好的进行调节。
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