Beam shaper-光束整形器高斯光整平顶光平顶光整形 Beam shaper-深圳维尔克斯光电有限公司

把高斯光整形成几十~几百微米平顶光斑，均匀性好于90%，效率95%

光束整形器是Holo/Or常用的衍射元件（DOE）之一，英文名称Beam shaper，其作用是获得能量分布均匀、边界陡峭，同时具有特定形状的平顶光斑，也可称为平顶帽式（Top-hat）光斑。光斑尺寸一般在几十微米到几百微米的范围，光斑形状可以是圆形，矩形，正方形，直线，椭圆或可以根据客户需求进行定制。

当激光光束经过光束整形器后，它能使光斑的能量分布得到均匀的处理，达到平顶光的效果。这个特性用于激光加工可以防止特定区域过度曝光或曝光不足。此外，形成的平顶光斑的特点是创造了一个尖锐的过渡区，清晰的区分了处理和未处理区域之间的边界。

入射光M2值的影响

光束整形器产生的平顶光效果与入射光有很大的关系，一般要求M2值小于1.3，越小越好，如果M2变大，则平顶效果随之变差，即平顶光斑的均匀性变差且边界陡峭性变差。在这种情况下，需要引入光阑和准直系统，或空间滤波器(spatial filter)对入射激光进行处理。典型的平顶光整形系统由一个激光器，一个平顶光整形元件和一个聚焦镜组成。

光束整形器对入射的高斯光束进行相位调制而在聚焦镜的近焦平面上得到想要的平顶光斑，需要强调的是平顶光斑并不是聚焦镜的焦平面上获得的，而是在距离焦平面仅有几个um的平面上，因此安装光束整形器时需要进行细致的三维调节以获得效果。

Holoor光束整形器的特点：

1.高质量的平顶激光光斑，高度均匀性、高光效、边缘陡峭

2.高能量阈值/高损伤阈值，适用于大功率激光器

3.可选择增透膜，使整体效率>95%

4.覆盖紫外到红外的所有激光波段，193nm to 10.6um

5.几百种标准规格供客户挑选

光束整形器的应用：

由于激光整形元件在微米级的尺度上能够获得高度均匀、边缘陡峭的光斑，在激光加工中能够得到非常的加工效果，消除热效应等因素的影响。

激光切割，焊接，划线、激光划片

有机薄膜处理，太阳能电池板切割，LED灯丝处理，聚合物薄膜切割等

激光钻孔，激光烧蚀，激光熔融，激光快速成型，激光3D打印

Holoor光束整形器的标准规格

1）1064nm，工作距离100mmm，其他波长请咨询我们

型号	激光波长[nm]	光束直径[mm]	角度[mrad]	光斑尺寸[um]	透镜尺寸[mm]	激光光斑形状
ST-238-I-Y-A	1064	10	0.2	20	25.4	正方形
ST-241-I-Y-A	1064	10	0.2	20	25.4	圆形
ST-276-I-Y-A	1064	10	0.21	21	25.4	直线
ST-278-I-Y-A	1064	9	0.23	23	25.4	直线
ST-237-I-Y-A	1064	9	0.23	23	25.4	圆形
ST-236-I-Y-A	1064	9	0.23	23	25.4	正方形
ST-235-I-Y-A	1064	8	0.26	26	25.4	正方形
ST-240-I-Y-A	1064	8	0.26	26	25.4	圆形
ST-275-I-Y-A	1064	8	0.26	26	25.4	直线
ST-303-I-Y-A	1064	7.5	0.28	28	25.4	圆形
ST-230-I-Y-A	1064	7	0.29	29	20	圆形
ST-277-I-Y-A	1064	7	0.3	30	25.4	直线
ST-234-I-Y-A	1064	7	0.3	30	25.4	正方形
ST-282-I-Y-A	1064	6	0.34	34	25.4	正方形
ST-281-I-Y-A	1064	6	0.34	34	25.4	直线
ST-286-I-Y-A	1064	12	0.35x2.70	35.0x270.0	25.4	长方形
ST-287-I-Y-A	1064	12	0.35x2.99	35.5x299.0	25.4	长方形
ST-239-I-Y-A	1064	6	0.35	35	25.4	圆形
ST-279-I-Y-A	1064	12	0.36x3.00	36.0x300.0	25.4	长方形
ST-284-I-Y-A	1064	12	0.36x2.10	36.0x210.0	25.4	长方形
ST-283-I-Y-A	1064	12	0.36x1.80	36.0x180.0	25.4	长方形
ST-262-I-Y-A	1064	12	0.36x2.10	36.0x210.0	25.4	长方形
TH-257-I-Y-A	1064	12	0.36x5.39	36.0x539.0	25.4	长方形
ST-264-I-Y-A	1064	12	0.36x2.69	36.5x269.0	25.4	长方形
ST-261-I-Y-A	1064	12	0.36x1.78	35.8x178.0	25.4	长方形
ST-288-I-Y-A	1064	12	0.36x3.30	36.0x330.0	25.4	长方形
ST-280-I-Y-A	1064	12	0.36x3.30	36.5x330.0	25.4	长方形
ST-263-I-Y-A	1064	12	0.36x2.39	36.0x239.0	25.4	长方形
ST-285-I-Y-A	1064	12	0.36x2.40	36.0x240.0	25.4	长方形
ST-265-I-Y-A	1064	12	0.37x2.09	37.2x209.1	25.4	长方形
ST-266-I-Y-A	1064	12	0.37x2.40	36.9x239.5	25.4	长方形
ST-301-I-Y-A	1064	5.7	0.37	37	12.5	圆形
ST-299-I-Y-A	1064	5.7	0.4	40	11	圆形
TH-256-I-Y-A	1064	12	0.40x4.79	40.0x479.0	25.4	长方形
ST-222-I-Y-A	1064	5	0.41	41	25.4	圆形
ST-270-I-Y-A	1064	5	0.43	43	11	直线
ST-221-I-Y-A	1064	4.7	0.44	44	25.4	圆形
ST-296-I-Y-A	1064	4.5	0.46	46	11	直线
ST-225-I-Y-A	1064	4.5	0.47	47	25.4	正方形
ST-298-I-Y-A	1064	4.5	0.47	47	11	圆形
ST-302-I-Y-A	1064	5.7	0.48	48	12.5	圆形
TH-258-I-Y-A	1064	10	0.48	48	25.4	正方形
ST-300-I-Y-A	1064	5.7	0.49	49	11	圆形
TH-239-I-Y-A	1064	4.7	0.51	51	12.5	直线
ST-269-I-Y-A	1064	4	0.52	52	11	直线
ST-219-I-Y-A	1064	4	0.52	52	11	圆形
ST-273-I-Y-A	1064	5	0.52	52	25.4	圆形
ST-220-I-Y-A	1064	4	0.53	53	11	正方形
TH-105-I-Y-A	1064	7.5	0.54	54	25.4	圆形
PT-001-I-Y-A	1064	6	0.56	56	30	正方形
ST-295-I-Y-A	1064	3.5	0.59	59	11	直线
ST-289-I-Y-A	1064	3.5	0.6	60	11	圆形
ST-207-I-Y-A	1064	10	0.6	60	25.4	圆形
ST-290-I-Y-A	1064	3.5	0.6	60	11	正方形
TH-253-I-Y-A	1064	12	0.65x2.97	65.0x297.0	25.4	长方形
ST-293-I-Y-A	1064	3	0.68	68	11	正方形
ST-260-I-Y-A	1064	3	0.69	69	11	圆形
ST-268-I-Y-A	1064	3	0.69	69	11	直线
TH-249-I-Y-A	1064	3.2	0.74	74	12.5	直线
ST-292-I-Y-A	1064	2.5	0.81	81	11	正方形
TH-254-I-Y-A	1064	12	0.81x2.36	81.0x236.0	25.4	长方形
ST-294-I-Y-A	1064	2.5	0.83	83	11	直线
ST-297-I-Y-A	1064	2.5	0.84	84	11	圆形
ST-272-I-Y-A	1064	3	0.87	87	11	圆形
TH-215-I-Y-A	1064	6	1	100	25.4	圆形
ST-212-I-Y-A	1064	7	1	100	20	正方形
ST-291-I-Y-A	1064	2	1.02	102	11	正方形
ST-259-I-Y-A	1064	2	1.04	104	11	圆形
ST-267-I-Y-A	1064	2	1.04	104	11	直线
TH-255-I-Y-A	1064	12	1.10x1.77	110.0x177.0	25.4	长方形
ST-271-I-Y-A	1064	2	1.3	130	11	圆形
ST-314-I-Y-A	1064	1.5	1.39	139	11	圆形
ST-315-I-Y-A	1064	1.5	1.39	139	11	正方形
ST-313-I-Y-A	1064	1.5	1.39	139	11	直线
TH-260-I-Y-A	1064	6	1.71	171	25.4	正方形
ST-312-I-Y-A	1064	1	2.08	208	11	直线
ST-308-I-Y-A	1064	1	2.08	208	11	正方形
ST-307-I-Y-A	1064	1	2.08	208	11	圆形
TH-002-I-Y-A	1064	12	2.4	240	27.94	正方形
ST-206-I-Y-A	1064	10	2.7	270	25.4	直线
ST-223-I-Y-A	1064	6	3	300	25.4	直线
TH-259-I-Y-A	1064	6	3.19	319	25.4	正方形
TH-221-I-Y-A	1064	2.2	3.2	320	11	正方形
PT-005-I-N-A	1064	5	3.29	329	25.4	圆形
PT-005-I-Y-A	1064	5	3.29	329	25.4	圆形
ST-258-I-Y-A	1064	10	3.9	390	25.4	直线
TH-246-I-Y-A	1064	6	4.2	420	25.4	圆形
TH-248-I-Y-A	1064	5	5.60x0.94	560.0x94.0	25.4	长方形
TH-238-I-Y-A	1064	3	6	600	11	圆形
TH-220-I-Y-A	1064	1.125	6.2	620	11	正方形
ST-231-I-Y-A	1064	3	8.7	870	11	直线
TH-228-I-Y-A	1064	3	10	1000	11	圆形
ST-229-I-Y-A	1064	4	12	1200	11	正方形
TH-227-I-Y-A	1064	3	13.3	1330	11	圆形
TH-015-I-Y-A	1064	5.1	14.5	1450	25.4	直线
TH-013-I-Y-A	1064	7	17.5	1750	25.4	正方形
ST-232-I-Y-A	1064	3	17.67	1767	11	直线
TH-252-I-Y-A	1064	6	20	2000.1	25.4	圆形
PT-003-I-Y-A	1064	3.2	22.77	2277.1	12.7x12.7	直线
PT-006-I-Y-A	1064	2	40.30x57.10	4030.5x5711.6	12.7	椭圆形
PT-002-I-Y-A	1064	7.5	45.18x2.64	4518.8x264.0	40x40	长方形

2）355nm，工作距离100mm，其他波长可咨询

型号	激光波长[nm]	光束直径[mm]	角度[mrad]	光斑尺寸[um]	透镜尺寸 [mm]	激光光斑形状
ST-241-U-Y-A	355	10	0.068	6.8	25.4	圆形
ST-238-U-Y-A	355	10	0.068	6.8	25.4	正方形
ST-276-U-Y-A	355	10	0.069	6.9	25.4	直线
ST-236-U-Y-A	355	9	0.076	7.6	25.4	正方形
ST-278-U-Y-A	355	9	0.077	7.7	25.4	直线
ST-237-U-Y-A	355	9	0.077	7.7	25.4	圆形
ST-240-U-Y-A	355	8	0.086	8.6	25.4	圆形
ST-275-U-Y-A	355	8	0.087	8.7	25.4	直线
ST-235-U-Y-A	355	8	0.087	8.7	25.4	正方形
ST-303-U-Y-A	355	7.5	0.093	9.3	25.4	圆形
ST-230-U-Y-A	355	7	0.097	9.7	20	圆形
ST-234-U-Y-A	355	7	0.099	9.9	25.4	正方形
ST-277-U-Y-A	355	7	0.099	9.9	25.4	直线
ST-282-U-Y-A	355	6	0.11	11	25.4	正方形
ST-281-U-Y-A	355	6	0.11	11	25.4	直线
TH-257-U-Y-A	355	12	0.12x1.80	12.0x179.8	25.4	长方形
ST-239-U-Y-A	355	6	0.12	12	25.4	圆形
ST-301-U-Y-A	355	5.7	0.12	12	12.5	圆形
ST-299-U-Y-A	355	5.7	0.13	13	11	圆形
TH-256-U-Y-A	355	12	0.13x1.60	13.3x159.8	25.4	长方形
ST-222-U-Y-A	355	5	0.14	14	25.4	圆形
ST-270-U-Y-A	355	5	0.14	14	11	直线
ST-221-U-Y-A	355	4.7	0.15	15	25.4	圆形
ST-296-U-Y-A	355	4.5	0.15	15	11	直线
ST-302-U-Y-A	355	5.7	0.16	16	12.5	圆形
ST-300-U-Y-A	355	5.7	0.16	16	11	圆形
ST-298-U-Y-A	355	4.5	0.16	16	11	圆形
ST-225-U-Y-A	355	4.5	0.16	16	25.4	正方形
TH-258-U-N-A	355	10	0.16	16	25.4	正方形
TH-258-U-Y-A	355	10	0.16	16	25.4	正方形
ST-273-U-Y-A	355	5	0.17	17	25.4	圆形
TH-239-U-Y-A	355	4.7	0.17	17	12.5	直线
ST-269-U-Y-A	355	4	0.17	17	11	直线
ST-219-U-Y-A	355	4	0.17	17	11	圆形
TH-105-U-Y-A	355	7.5	0.18	18	25.4	圆形
ST-220-U-Y-A	355	4	0.18	18	11	正方形
ST-207-U-Y-A	355	10	0.2	20	25.4	圆形
ST-289-U-Y-A	355	3.5	0.2	20	11	圆形
ST-290-U-Y-A	355	3.5	0.2	20	11	正方形
ST-295-U-Y-A	355	3.5	0.2	20	11	直线
TH-253-U-Y-A	355	12	0.22x0.99	21.7x99.1	25.4	长方形
ST-293-U-Y-A	355	3	0.23	23	11	正方形
ST-268-U-Y-A	355	3	0.23	23	11	直线
ST-260-U-Y-A	355	3	0.23	23	11	圆形
TH-249-U-Y-A	355	3.2	0.25	25	12.5	直线
ST-292-U-Y-A	355	2.5	0.27	27	11	正方形
TH-254-U-Y-A	355	12	0.27x0.79	27.0x78.7	25.4	长方形
ST-294-U-Y-A	355	2.5	0.28	28	11	直线
ST-297-U-Y-A	355	2.5	0.28	28	11	圆形
ST-272-U-Y-A	355	3	0.29	29	11	圆形
TH-215-U-Y-A	355	6	0.33	33	25.4	圆形
ST-212-U-Y-A	355	7	0.33	33	20	正方形
ST-291-U-Y-A	355	2	0.34	34	11	正方形
ST-267-U-Y-A	355	2	0.35	35	11	直线
ST-259-U-Y-A	355	2	0.35	35	11	圆形
TH-255-U-Y-A	355	12	0.37x0.59	36.7x59.1	25.4	长方形
ST-271-U-Y-A	355	2	0.44	44	11	圆形
ST-315-U-Y-A	355	1.5	0.46	46	11	正方形
ST-313-U-Y-A	355	1.5	0.46	46	11	直线
ST-314-U-Y-A	355	1.5	0.46	46	11	圆形
PT-001-U-Y-A	355	6	0.57	57	30	正方形
TH-260-U-Y-A	355	6	0.57	57	25.4	正方形
ST-307-U-Y-A	355	1	0.69	69	11	圆形
ST-312-U-Y-A	355	1	0.7	70	11	直线
ST-308-U-Y-A	355	1	0.7	70	11	正方形
TH-002-U-Y-A	355	12	0.8	80	27.94	正方形
ST-206-U-Y-A	355	10	0.9	90	25.4	直线
ST-223-U-Y-A	355	6	1	100	25.4	直线
TH-259-U-Y-A	355	6	1.07	107	25.4	正方形
TH-221-U-Y-A	355	2.2	1.07	107	11	正方形
ST-258-U-Y-A	355	10	1.3	130	25.4	直线
TH-246-U-Y-A	355	6	1.4	140	25.4	圆形
TH-248-U-Y-A	355	5	1.87x0.31	186.8x31.4	25.4	长方形
TH-238-U-Y-A	355	3	2	200	11	圆形
TH-220-U-Y-A	355	1.125	2.07	207	11	正方形
ST-231-U-Y-A	355	3	2.9	290	11	直线
TH-228-U-Y-A	355	3	3.34	334	11	圆形
PT-005-U-Y-A	355	5	3.35	335	25.4	圆形
ST-229-U-Y-A	355	4	4	400	11	正方形
TH-227-U-Y-A	355	3	4.44	444	11	圆形
TH-015-U-Y-A	355	5.1	4.84	484	25.4	直线
TH-261-U-Y-A	355	5.1	5.40x0.31	540.0x31.0	25.4	长方形
TH-013-U-Y-A	355	7	5.84	584	25.4	正方形
ST-232-U-Y-A	355	3	5.9	590	11	直线
TH-252-U-Y-A	355	6	6.67	667	25.4	圆形
PT-003-U-Y-A	355	3.2	23.19	2319.1	12.7x12.7	直线
PT-006-U-Y-A	355	2	41.04x58.14	4104.1x5815.8	12.7	椭圆形
PT-002-U-Y-A	355	7.5	46.00x2.69	4601.2x268.8	40x40	长方形