Holoor激光透镜配件 DOE配件 中国区代理

高阶激光阻挡模组

高阶激光阻挡模组英文名称为Module for blocking unwanted spots energy。其作用是阻挡不需要的高阶激光，而只留下需要的低阶激光，这样的效果是在焦平面上只得到低阶激光产生的衍射图案而过滤到高阶激光产生的衍射图案，获得更清晰明了的激光图形。

高阶激光阻挡模组一般应用在计量领域和敏感材料的加工。以下图的高阶激光阻挡模组为例，其一共包含6个镜头和一个掩膜/光圈在中间。其结构紧凑，可以起到全息、匀化、分束等作用。高阶激光阻挡模的设计需要根据客户激光器的系统和激光透镜的参数来决定。

Holoor高阶激光阻挡模组的参数和功能：

入射激光光束直径 = 12 [mm]

DOE元件衍射角度 = 5[deg]

输入激光光束小于12[mm] 则DOE的衍射角度可大于5[deg]

模组长度 = 90 [mm] (不含DOE 和聚焦透镜)

模组外径 = 30.5 [mm] (lens diameter = 25.4 [mm])

透镜材料 = N-SF11

激光缩放器，激光调谐器（DOE Tuner）

激光缩放器/激光调谐器（DOE Tuner）的作用是对输入的激光光束大小进行微调，调节参数包括光束形状、光斑大小、发散角等物理量。激光缩放器能够优化前端的光束整形器、分束器、焦点控制激光透镜等产品的效果，其还可以控制入射激光光束的大小。在入射激光光束的大小对平顶衍射光学元件(DOE)的应用很重要的。

Holoor激光透镜配件 DOE配件 中国区代理 维尔克斯光电

激光缩放器的特点:

波前误差很小

光束扩展器 0.8倍-1.2倍

没有需要改变模块的方向

滑动镜头

机械尺寸固定

熔融石英透镜材料

输入和输出通光孔径=23(毫米)

模块的长度= 120(毫米)

输入光束大小= 7(毫米)

小输出光束大小=8.4(毫米)

入射角 0.5°

波长范围 266nm -1064nm

其他波长要求

激光缩放器在激光光学系统中的配置：

1. 将激光缩放器置于衍射光学元件(DOE)之前

目的：微调输入激光光束的大小

优势：

对于平顶光束整形器——达到所需的尺寸

对于激光光束分束器、多焦点激光透镜和激光涡镜头——控制光斑大小

关键参数：

参数: 放大倍数< 1 放大倍数> 1

光斑大小: 增加 减少

分离角度: 没有变化 没有变化

图1: 激光缩放模块放置在衍射光学元件(DOE)之前

2. 将激光缩放器置于衍射光学元件(DOE)之后

目的：控制激光输出光束的发散,通过改变衍射光学元件(DOE)的参数在80 – 120%的范围

好处：

对于多点光束分束器/多激光光斑——可控制分离角

对于多焦点衍射元件——可控制焦点之间的分离

对于平顶激光光斑，扩散器&其他——可控制图像的大小

关键参数：

参数: 放大倍数< 1 放大倍数> 1

光斑大小: 增加 减少

分离角度: 增加 减少

图2: 激光缩放模块放置在前衍射光学元件(DOE)和聚焦透镜(或目标)之后

激光电介质掩膜，激光投影/成像掩膜——控制大功率激光的孔径

激光电介质掩膜（Dielectric Projection / Imaging) Mask）的结构是在玻璃基板上镀有一层很薄的图案反射涂层。涂层反射激光而通孔传输激光光束，因此在近场输出非常接近通孔形状的图案，在远场出现衍射模式，但被阻挡的激光光束的衍射模式不会出现

激光电介质掩膜的特性

很小的传输孔径/通孔(~ 10um)

高损伤阈值

低吸收

高反射率在反射部分(>99%)

高透射率(> 95%)在透明的部分

激光传输低(< 0.5%),掩膜部分(@532nm)

很薄的掩膜层(~1um)

针对单波长设计

激光电介质掩膜的典型参数

外直径(5 - 76 mm)

孔径形状(圆形、方形、其他)

孔径尺寸(10um – 60mm)

波长(193 nm - 11000 nm)

应用领域：

缩减传输区域，设置一个很小的传输区域

控制激光衍射图案的大小

激光聚焦模组，激光聚焦透镜模组

对于需要在焦平面上产生一个、无相差的激光图像应用，激光聚焦模组（Focusing Module）无疑是选择。

标准的激光聚焦模组通常是聚焦高斯光束，没有针对光束整形器优化。因此,使用标准的聚焦透镜的光束整形器/衍射光学元件经常引起平顶光束的畸变/相差现象，这些畸变通常会发生在小焦距，短的波长和大型输入光束。因此就需要特殊设计的聚焦透镜或模块。

Holoor的激光聚焦模组能够很好地解决以上问题，模组包含5个透镜，可以获得的的激光衍射图形，消除畸变和相差。例如对355nm的激光波长可整体设计聚焦模组，焦距50mm，光斑形状为正方形。激光聚焦模组的波长和焦距均可定制。

激光聚焦模组的特点：

无相差

焦距:50mm

波长(优化):355nm

模块尺寸：直径38.5mm

材料: 熔融石英

输入光束直径：12mm

平顶光斑的全角度: 18°

可选是否配Objective correction collar

激光扩束器，衍射光学元件扩束器，激光透镜扩束器

激光扩束器（Expander）是为了修正某些衍射光学元件(DOE)的输出参数，也称为DOE扩束器。激光扩束器可以扩大或缩小衍射激光光斑的图形，并设定衍射光学元件(DOE)输出的放大倍数。

Holoor的激光扩束器不同于标准的光束扩展器，Holoor考虑了激光透镜本身的功能和特点，是光束整形、激光分束还是激光焦点控制，从而实现的调制效果和小的畸变。

激光扩束器的应用领域：

• 和衍射光学元件/激光透镜配合使用，实现单个衍射光学元件(DOE)元件难以实现的光束调制功能

• 和现有的标准，半标准或库存的衍射光学元件(DOE)元件配合使用，使现有的DOE元件满足新的应用要求，从而避免DOE光学元件的重复设计和缩短交货时间

• 另外，还可根据客户的系统和要求来定制。

激光扩束器的规格参数

材料：熔融石英

透射率: ≥ 97%

固定放大倍数: x5 and x10

可与DOE扩束器配合使用的DOE: 分束器，匀光器，评定光束整形器，激光涡透镜，螺旋相位板、轴棱镜、圆环发生器、多圆环发生器

DOE扩束器可优化: 方形的二维激光平顶光斑 ，例如9x9激光点阵

波长范围: 266nm to 1550nm

Holoor的DOE扩束器的型号

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