关键词：Workshop of Photonics飞秒激光加工系统，飞秒微纳加工系统，飞秒冷加工系统，立陶宛WOP飞秒激光微加工系统 FemtoLAB实验室飞秒激光加工系统 FemtoFAB工业级飞秒激光加工系统 实验室级/工业级

立陶宛WOP公司（Workshop of Photonics）自2003年以来，在超短激光微加工领域已经开展了的研究，在激光微加工工作站的开发和飞秒激光工艺进行了充分的积累和工艺优化，开发除了超短激光微加工的仪器和解决方案。

WOP公司在微加工领域的核心能力：超短激光微加工可行性研究；定制的激光微加工工作站和光模块开发；激光系统自动化软件；批量生产的激光微加工领域。

WOP的飞秒加工系统产品分为实验室用飞秒激光加工系统FemtoLAB和工业用飞秒激光加工系统FemtoFAB，下面是对这两个产品的介绍。

WOP实验室用飞秒激光加工系统FemtoLAB

（Laser Micromachining System For Laboratory；Micromachining System For Laboratory；FemtoLAB,Workshop of photonics）

FemtoLAB这套飞秒激光微加工系统是为科学实验研究开发的，其配置到纳米级，包含有线性分辨率的定位平台、扫描振镜和通用微加工软件SCA，是一套应用在光学平台上的飞秒激光加工实验室。

WOP实验室用激光微加工系统可根据客户的实质需求而定制。WOP强大的技术能力和丰富的应用经验使FemtoLAB系统优化，新用户更易上手，提升了实验效率，节省了使用者宝贵的实验时间。

FemtoLAB飞秒加工系统软件控制功能

WOP飞秒激光加工系统在操作上可移动XYZ位移平台，旋转轴转动可扫描振镜，可调激光参数，使用者操作的机器视觉可以观察到工作区域平均功率（回馈）和偏振方向。

产品特点

l1.高速微加工 2.工业级飞秒器

l3.支持要求亚微米级分辨率物体的制造 4.飞秒加工模式有小热影响区域

l5.纳米精度的目标定位 6.振镜扫描器引导准确的激光束

l7.易改变激光参数 8.原始软件接口控制所有集成硬件设备

操作方便

有4个可以使用的显微镜转台谐波转换，聚焦光学组件用显微镜转台切换控制，焦斑测定使用共聚焦系统，校准CCD自动成像，CCD自动聚焦在样品表面，测定样品倾斜度自动化，控制成像和视频采集过程，制造轨迹和CCD视图叠加，实时过程跟踪，由键盘实施操纵。

FemtoLAB规格配置：

完整的规格配置包括：PHAROS飞秒激光器，SH,TH,FH发生器(带有光束传输)，SH发生器振荡输出，由XYZ试样的定位系统，扫描振镜（安装在XYZ上或通过4F光学系统传递），四个WATT PILOT衰减器，四个偏振旋转器，自聚焦和机器视觉装置，SLM或其它波束成形器，切换谐波反射镜和聚焦光学器件的转台。

*组装的空间不超过1 m x 2.5 m，所有装置都将在我们微加工软件SCA教学系统指导下自动操作。

FemtoLAB应用

FemtoLAB飞秒加工系统的主要应用于，表面要求微纳结构，雕刻，钻孔 ，激光光刻和多光子聚合，材料的折射率修正， 选择层去除，切削脆性材料，光波导制备， 持其它的任务扩展和补充装置。

WOP工业用飞秒激光加工系统FemtoFAB

（FemtoFAB Micromachining System）

飞秒激光加工机床，工业用飞秒激光加工系统

FemtoFAB是飞秒激光系统在工业上的加工应用系统，配置选定后，根据客户特定要求进行组装调试，能做成激光切割，激光划线，激光钻孔，3D激光铣削（使用的激光峰值功率>2.4GW）。系统加工过程中要使用级激光安全防护罩保护并通过单个SCA工程软件窗口控制。

SCA工程自动化软件

为便于控制激光微加工过程而研发的系统控制应用程序（SCA），使单一软件程序包含了所有硬件设备，不仅制作了整体的解决方案，而且在终用户使用时可以将无关的设备控制程序去除。

l支持.bmp，.dxf，.stl文件输出格式

l可设置非机器语言

l简明直观的用户界面体验

l工作区域平均功率（回馈）

l标准打印控制语言（支持HPGL）

产品特点

1.具备高加工速度，高达300mm/s（高要求），支持要求亚微米级分辨率物体的制造，飞秒加工模式有小热影响区域，纳米精度的目标定位，使用电流计扫描仪，脉冲密度控制（单点到350KHz），原始软件接口控制所有集成硬件设备

2.76MHz振荡输出和达到1MHz放大输出的脉冲重频的高可靠度工业级飞秒激光系统，与Aerotech线性定位平台以及扫描振镜协调同步，在高速无熔微加工中优势突出。 3.纳米级分辨率，高分辨率目标定位系统（Aerotech XYZ线性平台）与激光光束位置控制器（扫描振镜）以及激光脉冲选择器协调同步控制空间，时间和能量区域，使系统可以亚微米分辨率下加工难处理物体。

Machine vision机器视觉

与Aerotech线性定位平台同步，并为整个系统提供视觉的高分辨率CCD相机组成的机器视觉系统，能够获取物体的位置，形状或任一特征并对激光光束进行相应的调整。

产品应用

lWOPFemtoFAB 主要应用于陶瓷划片， 玻璃切割，蓝宝石切割，激光钻孔，太阳能电池的制造，双折射图案的制作，其它精细微加工任务