XTC/3 INFICON薄膜镀层控制仪
实用的单层和多层镀膜速率控制
用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1技术，提供可靠的模式跳跃防止功能，可达到始终如一的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪，可高度精确地控制镀膜速率与膜层厚度，具有能控制几乎任何膜层数量的能力。容易安装和*的可靠性，可确保高的生产率。
XTC/3 INFICON薄膜镀层控制仪
特 点
■有单膜层和多膜层型号
■ModelLock技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差
■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix®和双探头自动晶体切换，用于zui高生产率
■XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程，999个膜层，32个镀层，2个
传感器和两个源
■XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层，2个传感器和两个源
■易阅读的TFT LCD图形显示器
■为便于检索，可*的和描述性的薄膜与过程名称
■有以太网连接软件
■单独运行（无需计算机）或用PC运行的Windows®软件选件
■INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见（限于XTC/2功能和指令组）
XTC/3 INFICON薄膜镀层控制仪
技术规范
功能，参数，或技术规范 | XTC/3S单层膜 | XTC/3M多层膜 |
测量分辨的频率变化 | ＋0.05Hz | ＋0.05Hz |
测量区间 | 0.25秒 | 0.25秒 |
厚度和速率分辨/测量 | 0.06A,在工具/密度＝100 | 0.06A,在工具/密度＝100 |
| 基频＝6M Hz | 基频＝6M Hz |
支持XTAL2转换 | 是 | 是 |
计算机通讯 | RS232标准,以太网TCP/IP选件 | RS232标准,以太网TCP/IP选件 |
zui大RS232波特率 | 115.2千波特 | 115.2千波特 |
继电器数 | 12标准, 无事例可 | 12标准, 事例可 |
可编程继电器功能数 | 1 | 1 |
每个继电器功能 | 1 | 1 |
继电器电压额定值 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 | 30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流 |
| 42V峰,在2.5安 | 42V峰,在2.5安 |
输入数 | 8TTL, 24伏直流zui大 | 8TTL, 24伏直流zui大 |
可编程输入功能数 | 1, 无事例可 | 1, 事例 |
记入仪输入数 | 1 | 1 |
手动电源/手持控制器 | 是 | 是 |
排风扇 | 无 | 无 |
测试模式 | 是 | 是 |
挡光器延迟 | 是 | 是 |
次级工具 | 是 | 是 |
zui大允许相移频率 | 1.0 M Hz | 1.0 M Hz |
机箱尺寸 | 1/2机架,2U高度 | 1/2机架,2U高度 |
速率和膜厚显示分辨 | 0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从 100至999A/秒 | 0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从 100至999A/秒 |
| 显示膜厚分辨=1A | 显示膜厚分辨=1A |
通过输入选择镀层 | 是 | 否 |
用户指导语言 | 英文，中文 | 英文，中文 |
控制环 | PID | PID |
数据登录 | 是 | 是 |
质量和稳定性功能 | 是 | 是 |
样品和保持 | 是 | 是 |
坩埚选择 | 是 | 是 |
坩埚反馈输入 | 是 | 是 |
选择控制电压极性 | 是，+/-2.5，5，10伏 | 是，+/-2.5，5，10伏 |
| 15-位分辨率 | 15-位分辨率 |
程序锁定码 | 是 | 是 |
用户标签过程/镀层 | 否 | 是 |
XTC/2 RS232通讯兼容性 | 是（有限的） | 是（有限的） |
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