SQC-310  INFICON石英晶体膜厚控制仪

技术特点

■高亮度，VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文。

■标准RS-232和USB（有以太网选件）。

■易设置和操作，有“快速设置"菜单，6个上下文-敏感的按钮，和方便的参数设定旋钮。

■Window程序用于开发，测试，和下载工艺过程，和将仪器数据记录至您的PC上，用于过程分析与质量控制。

■精确的过程控制，尤其用于低淀积率，在10读值／秒时的分辨率为±0.03Hz，在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm。

■贮存容量高至100个工艺过程，1，000个膜层，50个膜系。

■用单传感器或多传感器监测源材料，提供精确的源分布监测。