1479A MKS质量流量计采用全金属密封设计，做工坚固。适用于有毒和腐蚀性气体。1479A流量计连接适当压力传感器可作压力控制器。1479A的精度为满量程的±1%。
1479A选型：1479A00411CR1A6MXX
前缀 | 编码 |
1479A | 1479A |
气体选择 | |
Helium, He | 001 |
Argon, Ar | 004 |
Hydrogen, H2 | 007 |
Nitrogen, N2 | 013 |
Oxygen, 02 | 015 |
流量选择 | |
10 | 11C |
20 | 21C |
50 | 51C |
100 | 12C |
200 | 22C |
500 | 52C |
1000 | 13C |
2000 | 23C |
5000 | 53C |
10000 | 14C |
20000 | 24C |
接口法兰选择 | |
标准Swagelok 4VCR 公头 | R |
可选择VCO管 | G |
可选择Swagelok 1／4”管 | S |
C-密封表面支架如SEMI2787.1 | C |
W-密封表面支架如SEMI2787.3F | H |
阀门选择 | |
通常情况关闭 | 1 |
电通讯连接方式 | |
模拟接口 | |
9针“D”类型 | A |
15针“D”类型 | B |
20针“D”类型 | C |
数字接口 | |
RS-485 | 5 |
DeviceNetTM | 6 |
密封选择 | |
金属，在200sccm以下流量的用Kel-F阀塞，在500sccm以上的用杜邦阀塞 | M |
版本-*总线适配器 | N |
除了客户，MKS公司将给当前的版本 | B |
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