- 1479/179A MKS质量流量计
- 1479A/179A 质量流量控制器/质量流量监视器， 其满量程范围从10 sccm – 20 slm，
- 各种模拟和数字通讯口可选。
- M330B 低压质量流量控制器， 其满量程范围从 5–100 sccm
- M330H 高温型（150℃）质量流量控制器， 其满量程范围从 10sccm – 40 slm
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MASS-FLO® 系列金属密封质量流量控制器
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