- 1179A/2179A 质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器, 其满量程范围从10 sccm – 20 slm,
- 模拟和数字通讯口可选。
- M100B/M10MB 质量流量控制器/质量流量监视器, 其满量程范围从10 sccm–50 slm
- 1559A/558A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器, 其满量程范围从20– 200 slm
- 1579A/579A 大流量质量流量控制器/质量流量监视器, 其满量程范围从50 – 300 slm
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1179A/2179A MKS流量计MASS-FLO® 系列橡胶密封质量流量控制器
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