EVG®850 LT

Automated Production Bonding System for SOI and Direct Wafer Bonding

EVG®850LT SOI和直接晶圆键合的自动化生产键合系统

自动化生产键合系统，适用于多种融合/分子晶圆键合应用

晶圆键合是SOI晶圆制造工艺以及晶圆级3D集成的一项关键技术。借助用于机械对准SOI的EVG850 LT自动化生产键合系统和具有LowTemp™等离子活化的直接晶圆键合，融合了熔合的所有基本步骤-从清洁，等离子活化和对准到预键合和IR检查-。因此，经过实践检验的行业标准EVG850 LT确保了高达300 mm尺寸的无空隙SOI晶片的高通量，高产量生产工艺。

特征

利用EVG的LowTemp™等离子技术进行SOI和直接晶圆键合

适用于各种融合/分子晶圆键合应用 ；生产系统可在高通量，高产量环境中运行

盒到盒的自动操作（错误加载，SMIF或FOUP）； 的背面处理

超音速和/或刷子清洁； ； 机械平整或缺口对齐的预粘合

的远程诊断技术数据

晶圆直径（基板尺寸）100-200、150-300毫米

全自动盒带到盒带操作

预粘接室

对齐类型：平面到平面或凹口到凹口

对准精度：X和Y：±50 µm，θ：±°

结合力：5 N

键合波起始位置：从晶圆边缘到中心灵活

真空系统：9x10-2 mbar（标准）和9x10-3 mbar（涡轮泵选件）

LowTemp™等离子模块

2种标准工艺气体：N2和O2，以及2种其他工艺气体：高纯度气体（％），稀有气体（Ar，He，Ne等）和合成气（N2，Ar和H4含量）

通用质量流量控制器：多可对4种工艺气体进行自校准，可对配方进行编程，流速可达到 sccm

真空系统：9x10-2 mbar（标准）和9x10-3 mbar（涡轮泵选件），高频RF发生器和匹

配单元：清洁站；清洁方式：冲洗（标准），超音速喷嘴，超音速面积传感器，喷嘴，刷子（可选）； 腔室：由PP或PFA制成

清洁介质：去离子水（标准），NH4OH和H2O2 。2％浓度（可选）

旋转卡盘：真空卡盘（标准）和边缘处理卡盘（选件），由不含金属离子的清洁材料制成；

旋转：3000 rpm（5 s）

清洁臂：多5条介质线（1个超音速系统使用2条线）

可选功能：ISO 3迷你环境（根据ISO 14644）； LowTemp™等离子活化室

红外检查站