HERCULES® NIL Fully Integrated SmartNIL® UV-NIL Systems

HERCULES®NIL 集成的SmartNIL®UV-NIL系统

EVG的HERCULES®NIL产品系列：

HERCULES®NIL集成的SmartNIL®UV-NIL系统，200 mm

HERCULES®NIL模块化和集成式SmartNIL®UV-NIL系统，300 mm

HERCULES®NIL集成的SmartNIL®UV-NIL系统，200 mm；集成的纳米压印光刻解决方案，适用于大批量生产，具有EVGSmartNIL®压印技术

HERCULES NIL是集成的UV纳米压印光刻跟踪解决方案，适用于200 mm的晶圆，是EVG的NIL产品组合的新成员。HERCULES NIL基于模块化平台，将EVGSmartNIL压印技术与清洁，抗蚀剂涂层和烘烤预处理步骤相结合。这将HERCULES NIL变成了“一站式服务"，将裸露的晶圆装载到工具中，然后将经过处理的纳米结构晶圆退回。

为了优化工艺链，HERCULES NIL中包括多次使用的软邮票的制造，这是大批量生产的基石，不需要额外的压印邮票制造设备。作为一项特殊功能，该工具可以升级为具有ISO 3 *功能的微型环境，以确保的缺陷率和质量的原版复制。

通过为大批量生产提供NIL解决方案，HERCULES NIL增强了EVG在积NIL设备解决方案中的。 *根据ISO 14644

特征

批量生产小40 nm *或更小的结构

结合了预处理（清洁/涂覆/烘烤/冷却）和SmartNIL®

体积验证的压印技术，具有复制保真度

全自动压印和受控的低力分离，可程度地重复使用工作印章

包括工作印章制造能力

高功率光源，固化时间快

优化的模块化平台可实现高吞吐量

*分辨率取决于过程和模板

HERCULES®NIL模块化和集成式SmartNIL®UV-NIL系统，300 mm

包含EVGSmartNIL®技术的模块化平台，可支持AR / VR，3D传感器，光子和生物技术

生产应用

EVG的HERCULES NIL 300 mm是一个集成的跟踪系统，在单个平台上将清洁，抗蚀剂涂层和烘烤预处理步骤与EVG的专有SmartNIL大面积纳米压印光刻（NIL）工艺结合在一起，用于直径为300 mm的晶片。这是个基于EVG的全模块化设备平台和可交换模块的NIL系统，可为客户提供的自由度来配置他们的系统，以地满足其生产需求，包括200 mm和300 mm晶圆的桥接功能。

HERCULES NIL 300 mm提供了市场上进的纳米压印功能，具有较低的力和保形压印，快速的高功率曝光和平滑的压模分离。该系统支持各种设备和应用程序的生产，包括用于增强/虚拟现实（AR / VR）头戴式耳机的光学设备，3D传感器，生物医学设备，纳米光子学和等离激元学。

特征

全自动UV-NIL压印和低力剥离：多300毫米的基材

模块化的平台，具有多达八个可交换过程模块（压印和预处理）

200毫米/ 300毫米桥接工具能力

全区域烙印覆盖

批量生产小40 nm或更小的结构

支持各种结构尺寸和形状，包括3D

适用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取决于过程和模板

技术数据

晶圆直径（基板尺寸）100至200毫米/ 200和300毫米

解析度≤40 nm（分辨率取决于模板和工艺）

支持流程：SmartNIL®

曝光源：大功率LED（i线）> 400 mW /cm²

对准：≤±3微米

自动分离：支持的

前处理：提供所有预处理模块

迷你环境和气候控制：可选的

工作印章制作：支持的