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研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500中电流离子注入装置IMX-3500为能量200keV、对应晶圆尺寸8inch的离子注入装置，适用于大学等机构的研究开发
研究开发用中电流离子注入设备IMX-3500
中电流离子注入装置IMX-3500为能量200keV、对应晶圆尺寸8inch的离子注入装置，适用于大学等机构的研究开发。
产品特性 / Product characteristics
• 晶圆尺寸8inch，搭载了可对应不定形基板的台板。
•离子源，除Gas source之外，另外可以使用安全方面更容易处理的B、P、As离子等固体蒸发源。
• HV terminal的部分，与量产装置是同样的构成，可确保高信赖性。
产品应用 / Product application
• 教育、研究开发等
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