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高温离子氮化炉

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:半导体设备
  • 所在地:
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2022-06-02 09:13:43
  • 浏览次数:9
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深圳市科时达电子科技有限公司

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  • 经营模式:其他
  • 商铺产品:611条
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  • 注册时间:2022-06-01
  • 最近登录:2022-06-01
  • 联系人:林经理
产品简介

脉冲等离子PulsPlasma®系统包括真空炉室,辅助加热系统,保温系统,温度测量系统,钟罩提升系统,工艺气体循环系统,冷却系统,工艺控制系统以及离子发生器系统

详情介绍

脉冲等离子PulsPlasma®系统包括真空炉室,辅助加热系统,保温系统,温度测量系统,钟罩提升系统,工艺气体循环系统,冷却系统,工艺控制系统以及离子发生器系统。这其中的离子发生器系统是普发拓普公司的设计,可以*避免打弧现象的发生而且节能效果明显。炉体可以是钟罩式设计,也可以是井式炉或卧式设计。根据设备的大小,加热控制区至少配有三组独立控制升温和降温的加热器,通过这些独立控制的加热器获得较好的均温性。


工艺特点:

通过热壁技术实现良好的均温性

工艺气体消耗少,没有污染气体

灵活的渗氮温度,温度范围 300 ℃ - 800 ℃

白亮层可控

可处理不锈钢

可处理烧结钢

可以在同一炉工艺集成脉冲离子氮化-氧化工艺



设备特点:

不产生打弧,工件表面无破坏

加热和控制系统,至少3区独立的加热和冷却区域

控制区温度均匀分布

PulsPlasma®电源,电压和电流近乎方波,几微妙内获得

设定的全部脉冲电流,主动抑制打弧监测(开关时间
电源可升级至5年质保

可在低温下对工件表面进行等离子清洗

设备布局紧凑,节省空间,所有部件集成在一个基础框架内

模块化设计,提供单室型、交替型和双室型设备

特殊航天保温材料,热容量低,功率损耗低,节省重量

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