TRYMAX 等离子除胶机
型号:NEO系列
TRYMAX
Trymax目前拥有半自动、全自动系列设备供用户选择,目前已有上百台设备安装在世界各地,被地应用于MEMS微机电系统、微流体器件、SOI基片制造、封装、化合物半导体器件、功率器件和光电显示等领域。
NEO3400系列是Trymax半导体设备的NEO系列等离子灰化和蚀刻产品的新成员之一。
它可以满足产量,适应每个生产阶段和预算。 NEO 3000系统可配置任何现有的Trymax NEO工艺模块,并与直径达300mm的基板兼容。小尺寸和模块化设计可根据您的需要灵活配置。
•特征
-300毫米晶圆尺寸/基板尺寸
-3或4个装载端口
-4轴双臂机器人用横臂搬运
-2或4个处理室。
-4种不同的处理室技术:
•下游微波( GHz)
•射频偏压()
•双源(微波,射频偏压)
•DCP(RF偏置,直接耦合等离子)
-的均匀性和可重复性
-机械吞吐量> 300wph
-紧凑的足迹
-非常低的拥有
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